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AMETEK ROTRON展出半導體行業適用的 SEMI-COOL精密風扇和客製化冷卻系統

本文作者:AMETEK Rotron       點擊: 2016-12-13 08:03
前言:
專為軍事∕航太任務設計的高可靠性精巧型風扇確保半導體應用的可靠而一致的溫度
2016年12月12日--AMETEK Rotron (www.rotron.com)在日本Semicon展出SemiCool客製化冷卻系統。SemiCool 系統適用於半導體加工的高可靠性冷卻,包含最初設計用於關鍵性軍事和航太用途的Rotron MAXIAX葉軸式風扇,體積精巧,並提供精確的溫度控制。
 


應用範圍:
• 半導體製造
• 半導體製造設備OEM
• 燈具冷卻
• 熱控制製程的空氣循環
• 製程散熱
• 控制電子產生的熱氣
• 蒸氣澱積
• 蝕刻加工
• 晶圓製造
 
完整的SemiCool系統包括高可靠性的風扇、優化的熱交換器和客製化的通風管道。或者,客戶也可以將MAXIAX風扇整合到自己的冷卻子系統中。
 
直徑範圍從152.4mm(6吋)到203.2mm(8吋)的優化風扇,在254mm WG(10 IWG)下提供每秒425升(900 CFM)的氣流, 效率接近60%。這與半導體廠房中常用的標準0.9m(3')高工業鼓風機有顯著的不同。風扇設計使用400 Hz工業電源轉換器,具有快 速反應,無段速度控制和最小的空間需求等特性,能持續保持系統的工作溫度。
 
SemiCool系統可以滿足半導體生產中所有熱密集製程的冷卻需求。系統符合半導體行業的可追溯性和配置控制要求,它們可以通過TUV的認證,並在AS9100,ISO9001製造環境中生產。
 
AMETEK Rotron是AMETEK, Inc.公司的一個部門;AMETEK, Inc.是一家電子儀器和機電設備的世界主要製造商,年銷售額40億美元。
 
最初設計用於關鍵性軍事和航太用途的精巧型MAXIAX葉軸式風扇,為半導體加工提供高可靠性的冷卻。

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