2016年12月12日--AMETEK Rotron (www.rotron.com)在日本Semicon展出SemiCool客製化冷卻系統。SemiCool 系統適用於半導體加工的高可靠性冷卻,包含最初設計用於關鍵性軍事和航太用途的Rotron MAXIAX葉軸式風扇,體積精巧,並提供精確的溫度控制。
應用範圍:
• 半導體製造
• 半導體製造設備OEM
• 燈具冷卻
• 熱控制製程的空氣循環
• 製程散熱
• 控制電子產生的熱氣
• 蒸氣澱積
• 蝕刻加工
• 晶圓製造
完整的SemiCool系統包括高可靠性的風扇、優化的熱交換器和客製化的通風管道。或者,客戶也可以將MAXIAX風扇整合到自己的冷卻子系統中。
直徑範圍從152.4mm(6吋)到203.2mm(8吋)的優化風扇,在254mm WG(10 IWG)下提供每秒425升(900 CFM)的氣流, 效率接近60%。這與半導體廠房中常用的標準0.9m(3')高工業鼓風機有顯著的不同。風扇設計使用400 Hz工業電源轉換器,具有快 速反應,無段速度控制和最小的空間需求等特性,能持續保持系統的工作溫度。
SemiCool系統可以滿足半導體生產中所有熱密集製程的冷卻需求。系統符合半導體行業的可追溯性和配置控制要求,它們可以通過TUV的認證,並在AS9100,ISO9001製造環境中生產。
AMETEK Rotron是AMETEK, Inc.公司的一個部門;AMETEK, Inc.是一家電子儀器和機電設備的世界主要製造商,年銷售額40億美元。
最初設計用於關鍵性軍事和航太用途的精巧型MAXIAX葉軸式風扇,為半導體加工提供高可靠性的冷卻。