Surface Technology Systems贏得巨額MEMS 生產設備訂單

將電漿製程科技運用在先進電子設備之製造和封裝的巨擘Surface Technology Systems plc (STS) 宣佈已接獲來自微機電系統 (MEMS) 生產設備製造業者價值超過兩百萬英鎊的訂單。  

該訂單包括多個Pegasus的反應製程腔體，主要用於消費性成品的MEMS深矽微加工技術。Pegasus提供較其他市面上深矽蝕刻離子反應式蝕刻機台更高的蝕刻率。STS 提供兩種多腔體式平台做為多腔體操作之用：VPX 含有一個真空晶片匣和多達三個反應腔體，CPX 則有兩個真空匣和多達四個反應腔體。

STS執行長John Saunders說：「接獲此訂單讓我們非常興奮，不僅因為這是STS接獲最大的訂單之一，也代表了我們這項八個月前推出的新產品得到業界肯定，獲得了巨大的成功。這份訂單也證實了我們的多反應腔體系統足以滿足量產客戶的需求。」

STS 業務行銷總監David Haynes補充說：「我們視此訂單為對MEMS主製造業者成功利用或銷售其設備，做為汽車或消費產品等大量用途的進一步肯定。」

這份新訂單將使得STS目前的訂貨單金額超過1200萬英鎊，它們都在2006 年交貨，大部分在今年上半年。這是STS自2001年以來最高的訂貨單水平。