VICTREX® PEEK® 聚合物、VICOTE® 塗料和APTIV®薄膜等高性能材料的領先製造商英國威格斯公司(Victrex plc) 宣佈，世界領先光罩全方位解決方案供應商 - 家登精密股份有限公司已採用VICTREX PEEK聚合物作為其最新款150mm單光罩標準機械介面傳送盒，簡稱光罩傳送盒 (single-reticle SMIF-pod；RSP) 應用的主要元件材料。透過將VICTREX PEEK聚合物具高硬度、極少的微粒產生量、高潔淨度以及強ESD性能等特性用於與光罩的所有接觸點上，此款專門設計的光罩傳送盒，能有效地在生產、傳送以及處理光罩過程中，減少微粒的產生與氣體的釋出。
光罩傳送盒應用的關鍵在處理傳送盒的過程中，包括打開與關上輸送箱時，需減少或避免微粒的產生或氣體的釋出。因此，嚴格選擇傳送盒的材料是相當重要。家登精密技術經理李柏欣表示：「處理和打開光罩傳送盒可能會導致光罩受到污染與損壞。此外，當半導體晶圓製程中透過傳送盒隔開光罩時，傳送盒必須滿足幾項重要的要求，包括：限制接觸面積，以確保光罩僅與斜削角接觸，而且不會在傳送盒內滑動；微粒區隔，以保護較小的圖形與大大降低晶圓製造成本；作業員區隔，以避免光罩處理失誤和刮傷以及ESD破壞；製程控制，以避免處理日益複雜的光罩時出現失誤。」
由於VICTREX PEEK聚合物具有高硬度、極少的微粒產生量、高潔淨度以及強ESD性能等特性，家登精密工業可放心地採用VICTREX PEEK聚合物於其光罩傳送盒的某些關鍵接觸點與處理點上。此外，VICTREX PEEK具有卓越的耐化學性、耐磨損性、耐水解性、優秀的電介質強度以及出色的耐輻射性能，因此能夠滿足、甚至超越該應用對關鍵材料的全部要求。特別是，VICTREX PEEK的微粒脫落特性較其他競爭材料更為優越，而且具有極低的可萃取物特性或揮發特性。李柏欣表示：「VICTREX PEEK獨特的綜合特性、優異的釋氣與微粒性能是我們選擇Victrex 的最大原因。」
Victrex亞太地區市務經理 ST Namgoong 表示：「在亞洲市場，我們為中國大陸、日本、韓國以及臺灣等許多晶圓製造廠提供VICTREX PEEK 聚合物。Victrex的高性能聚醚醚酮材料已逐漸影響著半導體領域中重要應用的成功與否。由於VICTREX PEEK具有固有高純度、高強度、耐化學性、耐高溫性以及優良的電氣特性，因此，全世界許多半導體產業的客戶都樂於採用。」
目前利用這些特性的關鍵半導體應用包括化學機械研磨環 (CMP ring)、晶圓輸送、晶圓儲存以及前開式晶圓盒（front opening unified pod 簡稱FOUP）。
關於威格斯
英國威格斯公司 (Victrex plc) 是全球領先的高性能材料製造商，其產品包括VICTREX® PEEK® 聚合物、VICOTE® 塗料和APTIV®薄膜。這些材料具有獨特的綜合性能，可廣泛應用於不同的市場領域，有助於加工廠商和終端用戶實現成本更低、品質更高及性能更優的目標。
威格斯公司總部設在英國，Invibio® 是威格斯的生物材料業務部，主要為醫療設備製造商提供專用材料和服務。威格斯日本公司是英國威格斯公司的全資子公司。如需瞭解更多資訊，請參閱公司網站www.victrex.com 或www.victrex.mobi。
光罩傳送盒應用的關鍵在處理傳送盒的過程中，包括打開與關上輸送箱時，需減少或避免微粒的產生或氣體的釋出。因此，嚴格選擇傳送盒的材料是相當重要。家登精密技術經理李柏欣表示：「處理和打開光罩傳送盒可能會導致光罩受到污染與損壞。此外，當半導體晶圓製程中透過傳送盒隔開光罩時，傳送盒必須滿足幾項重要的要求，包括：限制接觸面積，以確保光罩僅與斜削角接觸，而且不會在傳送盒內滑動；微粒區隔，以保護較小的圖形與大大降低晶圓製造成本；作業員區隔，以避免光罩處理失誤和刮傷以及ESD破壞；製程控制，以避免處理日益複雜的光罩時出現失誤。」
由於VICTREX PEEK聚合物具有高硬度、極少的微粒產生量、高潔淨度以及強ESD性能等特性，家登精密工業可放心地採用VICTREX PEEK聚合物於其光罩傳送盒的某些關鍵接觸點與處理點上。此外，VICTREX PEEK具有卓越的耐化學性、耐磨損性、耐水解性、優秀的電介質強度以及出色的耐輻射性能，因此能夠滿足、甚至超越該應用對關鍵材料的全部要求。特別是，VICTREX PEEK的微粒脫落特性較其他競爭材料更為優越，而且具有極低的可萃取物特性或揮發特性。李柏欣表示：「VICTREX PEEK獨特的綜合特性、優異的釋氣與微粒性能是我們選擇Victrex 的最大原因。」
Victrex亞太地區市務經理 ST Namgoong 表示：「在亞洲市場，我們為中國大陸、日本、韓國以及臺灣等許多晶圓製造廠提供VICTREX PEEK 聚合物。Victrex的高性能聚醚醚酮材料已逐漸影響著半導體領域中重要應用的成功與否。由於VICTREX PEEK具有固有高純度、高強度、耐化學性、耐高溫性以及優良的電氣特性，因此，全世界許多半導體產業的客戶都樂於採用。」
目前利用這些特性的關鍵半導體應用包括化學機械研磨環 (CMP ring)、晶圓輸送、晶圓儲存以及前開式晶圓盒（front opening unified pod 簡稱FOUP）。
關於威格斯
英國威格斯公司 (Victrex plc) 是全球領先的高性能材料製造商，其產品包括VICTREX® PEEK® 聚合物、VICOTE® 塗料和APTIV®薄膜。這些材料具有獨特的綜合性能，可廣泛應用於不同的市場領域，有助於加工廠商和終端用戶實現成本更低、品質更高及性能更優的目標。
威格斯公司總部設在英國，Invibio® 是威格斯的生物材料業務部，主要為醫療設備製造商提供專用材料和服務。威格斯日本公司是英國威格斯公司的全資子公司。如需瞭解更多資訊，請參閱公司網站
