KLA-Tencor 全新 Puma 9150 檢測系統問世 推升暗視野檢測的產業基準

KLA-Tencor推出 Puma 9150 系統，也是公司最先進的暗視野圖相晶圓檢測技術，其特色包括全新的光學，能夠促進45奈米及以下生產時更廣泛的擷取良率關鍵缺陷。此外，Puma 9150 亦能提供當今最高的暗視野生產力、降低營運成本、賦予更高的採樣速度，從而促進更緊密的製程控管。

KLA-Tencor 的晶片檢測組副總裁兼總經理 Mike Kirk 指出：「由於 45 奈米及以下製程的尺寸日益縮減，加上全新的材料與創新的裝置結構，客戶不僅面臨了與日俱增的良率挑戰，同時也必須致力快速提高工廠的良率與成本效益。Puma 9150 透過全新的光學技術來改善缺陷類型擷取，再次提高暗視野檢測功能的產業標準。Puma 9150 以獨特的效能與速度的結合，讓客戶客戶利用最快、成本效益最好的方式獲致最高的暗視野技術裝置良率。

Puma 9150 能提供增強的淺輪廓、大面積缺陷的擷取，例如因銅製程 CMP 所致的拋光不足和漿料殘餘物質等。 此外，它也能改善例如微小線連結.以及部分或全部洞未開等蝕刻應用的暗視野缺陷擷取。

東芝大分廠材料與製程部經理沼野 正訓介绍说：「根據我們針對 KLA-Tencor 全新 Puma 9150 系統的評估與測試，顯示其靈敏度和缺陷擷取明顯提高，其中包括我們前一套暗視野系統在銅製程 CMP 層中不曾發現的淺輪廓線斷線缺陷。我們已經開始在最先進的生產線使用此系統。」

Puma 9110/9130 系統於 2006 年 9 月問世，旋即獲得許多先進的工廠選擇作為工具，KLA-Tencor 以此成功經驗為基礎，在所有晶片製造地區提供記憶體與邏輯客戶 Puma 9150 系統，其中包括銷售多套系統給數家工廠。此系統目前已經運用於 65 奈米生產、45 奈米試產和45 次奈米研發。作為暗視野檢測市場的領導平台，其中全球 20 大晶片製造商中即有 18 家已經完成安裝。為了保護晶片製造商在光學檢測方面的投資，所有 Puma 91xx 系統都能就地升級至 9150 的規格。

在KLA-Tencor 的 45奈米製程及以下創新缺陷控制的廣泛的解決方案組合中，Puma 9150 是不可或缺的一部分。此組合除了明視野和暗視野光學檢測、電束檢測之外，亦包括一系列能正確進行缺陷辨識與類目的專業軟體工具，從而促進快速提高晶片製造商的良率和獲利。

KLA-Tencor 公司簡介：KLA-Tencor 是全球半導體製造和相關產業的良率管理及製程控制解決方案領導廠商。其總部位於美國加州聖荷西，在世界各地設有辦事處和服務機構。屬於 S&P 500 大公司的 KLA-Tencor 在 NASDAQ Global Select Market (納斯達克全球精選市場) 上市交易，交易代碼為 KLAC。關於該公司的相關資訊，請造訪公司網站： http://www.kla-tencor.com。