隨著32奈米以下製程的來臨，製程複雜度也日益提高，製造商必須朝零缺點的製程努力，以提升產能維持獲利。漢民微測 (HMI)所自行研發的缺陷檢測儀已獲全球主要晶圓廠採用與肯定，為分享成功經驗，漢民微測將於9月10日台北國際會議中心三樓舉行「產能提升(Yield Enhancement Seminar 2008) 研討會」，邀請業界權威，共同分享下一代微影技術製程控制以及缺陷檢測的實際案例。
研討會當日提供免費午餐。於9月1日前完成線上報名並參加全程活動者，有機會獲得HTC鑽石機。報名請洽: 王小姐（電話： 886.3.573.3399分機223，Email: swang@semi.org）
時間 議題 講師
10:00-10:30 Registration
10:30-10:35 Opening Remark C.Y Shu, Hemes-Epitek Corp.
10:35-11:20 Keynote Speech
A prospect of NGL and its challenges to yield control Y.C. Ku, tsmc
11:20-11:45 Defect metrology requirements for the 32 nm rode and beyond John Allgair,
AMD/ISMI
11:45-12:10 Application of negative mode e-beam inspection Hong Xiao, HMI
12:10-13:10 Lunch
13:10-13:35 Challenge systemic defect control in advanced DRAM Fab Luke Lin, PSC
13:35-14:00 Inline E-beam inspection applications for technology development Victor Lim, Chartered
14:00-14:25 Coffee Break
14:25-14:45 Study of e-beam inspection on photoresist wafers Kenichi Kanai, HMI
14:45-15:10 Wafer Inspection: Where are we and where do we go? Byoung-Ho Lee, Samsung
15:10- Survey and closing remarks Hong Xiao, HMI
漢民微測(HMI)
漢民微測於1998年在美國矽谷成立，其研發團隊囊括電子束(E-Beam)與影像運用方面的業界頂尖專家。漢民微測打破舊框架，成功開發出華人第一台『離子束檢測機eScan』。以獨家的跳躍式檢測、及穩定的電子槍技術領先全球，提供更先進的檢測設備及技術，更有效率的提升檢測儀器與設備，將華人的技術層次提昇進入全球高科技設備與零組件供應鏈中。目前客戶已遍及美國、日本、歐洲、大陸及新加坡等地。
研討會當日提供免費午餐。於9月1日前完成線上報名並參加全程活動者，有機會獲得HTC鑽石機。報名請洽: 王小姐（電話： 886.3.573.3399分機223，Email: swang@semi.org）
時間 議題 講師
10:00-10:30 Registration
10:30-10:35 Opening Remark C.Y Shu, Hemes-Epitek Corp.
10:35-11:20 Keynote Speech
A prospect of NGL and its challenges to yield control Y.C. Ku, tsmc
11:20-11:45 Defect metrology requirements for the 32 nm rode and beyond John Allgair,
AMD/ISMI
11:45-12:10 Application of negative mode e-beam inspection Hong Xiao, HMI
12:10-13:10 Lunch
13:10-13:35 Challenge systemic defect control in advanced DRAM Fab Luke Lin, PSC
13:35-14:00 Inline E-beam inspection applications for technology development Victor Lim, Chartered
14:00-14:25 Coffee Break
14:25-14:45 Study of e-beam inspection on photoresist wafers Kenichi Kanai, HMI
14:45-15:10 Wafer Inspection: Where are we and where do we go? Byoung-Ho Lee, Samsung
15:10- Survey and closing remarks Hong Xiao, HMI
漢民微測(HMI)
漢民微測於1998年在美國矽谷成立，其研發團隊囊括電子束(E-Beam)與影像運用方面的業界頂尖專家。漢民微測打破舊框架，成功開發出華人第一台『離子束檢測機eScan』。以獨家的跳躍式檢測、及穩定的電子槍技術領先全球，提供更先進的檢測設備及技術，更有效率的提升檢測儀器與設備，將華人的技術層次提昇進入全球高科技設備與零組件供應鏈中。目前客戶已遍及美國、日本、歐洲、大陸及新加坡等地。
