軟性顯示器研發大躍進 工研院發表突破性塑膠基板取下技術
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2008-09-09 00:00
前言:
台灣軟性顯示器研發再傳捷報!工研院發表突破性的PI塑膠基板取下技術。運用「離形層」的研發創意,成功使用切割技術將PI塑膠基板自玻璃取下,不損傷電晶體等元件,更首創對位精準度達到2微米內的電晶體製程,遠高於國際大廠5微米,讓軟性顯示器的解析度與開口率大幅提昇。這是軟性顯示器走出實驗室研發階段,邁向可能性生產的里程碑,更是未來軟式薄形電視、可摺疊手機螢幕等高階軟性顯示器應用情境有提早實現機會!
為協助面板相關廠商,利用既有的玻璃製程優勢,轉進軟性顯示器生產,全球多採用先在玻璃上作出可變曲的PI塑膠基板策略,卻面臨電晶體脫落剝離困境。如何滿足PI塑膠基板與玻璃基板緊密結合,分開時又不傷害電晶體的兩大需求,一直是大家急切想解決的關鍵問題。工研院顯示中心程章林主任表示,工研院材化所與顯示中心運用在玻璃上塗佈一層材料後的「離形層」創意,已能順利地融合業界既有的TFT製程,在柔軟PI基板上製作出和現今面板使用的精密a-Si、µC-Si及OTFT薄膜電晶體陣列。且在電晶體無損害情況下,即能順利將軟性塑膠材質取下。未來面板廠不用加購新機台或大幅修改製程,即能製造出柔軟的電晶體陣列,讓未來的電腦電視等主動式軟性顯示器,進入量產製造,建立一個極具指標性的里程碑。
工研院這層特殊材料,又名離形層(De-bonding Layer),須具有黏與不黏的特點,在製作過程中必須牢牢固定住PI塑膠板,才能在塑膠板上進行偏移誤差僅在2微米(um)內精準對位,製作電晶體TFT、電路等元件。在完成多層的電體晶陣列製程後,離形層的不黏特點又能使PI塑膠基板輕易與玻璃分開。這層可彎曲的基板,只需用簡易裁切方式即能輕易自玻璃取下,相較於其他國際大廠所發表的昂貴、耗時的雷射取下技術,有更簡易、成本低特點外,更完全解決電晶體產生部份脫落剝離困境,讓軟性顯示器真正得以實現柔軟可彎曲的特點,不再依附在玻璃基板。
此外,經過一連串針對塑膠基板特性及相關製程實驗及分析,工研院也研發出最佳的塗佈配方及塗佈參數,完全掌控PI塑膠基板彎曲程度,成功克服離形層材料與塑膠材質不同,在製作時熱漲冷縮不一的薄膜應力,造成PI塑膠基板彎曲度的問題。預計工研院這項創新研發將大大振奮面板產業,為台灣面板產業開啟新商機。