諾發系統發表SABRE Excel機台，此一先進的銅電鍍的系統提供22奈米以及更先進技術世代所要求的銅填充能力以及低缺陷密度。 SABRE Excel 建構在已被證明具量產能力的SABRE之上，全世界超過80%的銅電鍍設備都已使用這個平台。SABRE Excel平台結合諾發系統的IRISCell技術專利，並且升級硬體、軟體和通訊來強化此平台的功能，更先進的電鍍製程也將整合至SABRE Excel 。
銅電鍍製程在22奈米技術所遇到的挑戰將可在SABRE Excel新的功能中解決，為了解決先進微小元件可靠度的問題，製造商趨向使用非常薄的合金PVD晶種層。較厚的PVD晶種層會導致電鍍銅空洞然而較薄的晶種層會增加阻抗值，以致於在電鍍銅一開始時的電流分佈不均勻，進而造成銅填充能力不一致的現象。諾發系統專利的IRISCell技術藉由使用區域形塑元件，驅使動態電流模組化的功能來克服這個問題。較薄的PVD晶種層也造成銅成核一致性的挑戰。SABRE Excel的新電鍍銅製程，也就是所謂的Multiwave entry，提供電壓波形的毫秒控制，進而解決最初入水階段的問題。
除了先進的硬體設計來滿足較薄的銅晶種層外，SABRE Excel導入了一些創新的特性來達到22奈米技術對缺陷與良率的需求。藉由專利的低腐蝕電解液可以明顯地降低重大缺陷的產生，另外減少晶邊大小至1mm，亦可增加每片晶片可使用的晶粒數目。
諾發系統電鍍事業部副總裁暨總經理 Sesha Varadarajan表示 :「我們相信SABRE Excel將會為未來銅電鍍提供一個新的基準，我們已藉由新的IRISCell與Multiwave電鍍技術，贏得多數的業界先進半導體廠的訂單，預計在今年的第四季陸續出貨。」
關於SABRE
為了先進及高產量製造的應用，諾發公司銅電鍍機台，結合了領先業界的產出能力，以及在最先進元件結構上，自下而上的無洞充填。全世界百分之八十的銅製程晶片是由諾發系統的SABRE Electrofill®機台所產出。
諾發系統公司是全球半導體產業中領先的先進製程工藝設備供應者。該公司的產品提供信賴的生產力支持的創新技術來為客戶創造價值。是標準普爾500 (S&P 500)強公司之一，諾發公司的總部設在加州聖荷西，其附屬辦事處遍布全球。欲了解更多信息，請參考www.novellus.com
銅電鍍製程在22奈米技術所遇到的挑戰將可在SABRE Excel新的功能中解決，為了解決先進微小元件可靠度的問題，製造商趨向使用非常薄的合金PVD晶種層。較厚的PVD晶種層會導致電鍍銅空洞然而較薄的晶種層會增加阻抗值，以致於在電鍍銅一開始時的電流分佈不均勻，進而造成銅填充能力不一致的現象。諾發系統專利的IRISCell技術藉由使用區域形塑元件，驅使動態電流模組化的功能來克服這個問題。較薄的PVD晶種層也造成銅成核一致性的挑戰。SABRE Excel的新電鍍銅製程，也就是所謂的Multiwave entry，提供電壓波形的毫秒控制，進而解決最初入水階段的問題。
除了先進的硬體設計來滿足較薄的銅晶種層外，SABRE Excel導入了一些創新的特性來達到22奈米技術對缺陷與良率的需求。藉由專利的低腐蝕電解液可以明顯地降低重大缺陷的產生，另外減少晶邊大小至1mm，亦可增加每片晶片可使用的晶粒數目。
諾發系統電鍍事業部副總裁暨總經理 Sesha Varadarajan表示 :「我們相信SABRE Excel將會為未來銅電鍍提供一個新的基準，我們已藉由新的IRISCell與Multiwave電鍍技術，贏得多數的業界先進半導體廠的訂單，預計在今年的第四季陸續出貨。」
關於SABRE
為了先進及高產量製造的應用，諾發公司銅電鍍機台，結合了領先業界的產出能力，以及在最先進元件結構上，自下而上的無洞充填。全世界百分之八十的銅製程晶片是由諾發系統的SABRE Electrofill®機台所產出。
諾發系統公司是全球半導體產業中領先的先進製程工藝設備供應者。該公司的產品提供信賴的生產力支持的創新技術來為客戶創造價值。是標準普爾500 (S&P 500)強公司之一，諾發公司的總部設在加州聖荷西，其附屬辦事處遍布全球。欲了解更多信息，請參考www.novellus.com
