ATMI, Inc.近日正式宣布該公司一款新產品”iCleaner”，通過美國環境保護局 (Environmental Protection Agency, EPA) 認證，榮頒「環保設計」標章（DfE 標章）。 iCleaner，專為半導體製程中的清洗流程所設計，是半導體業界首度榮獲此殊榮的化學產品。根據 EPA 的DfE 網站，此標章代表該產品經過 DfE 團隊審慎檢驗所有產品成分，確認其對環境與健康可能造成的影響。該網站更進一步說明「成為 DfE 合作夥伴的製造商...代表挹注大量投資於研究、研發以及成份調整，以確保所使用的成份與成品皆以符合人體健康與環境保護為目標下，同時也能夠維持或提升產品效能。」EPA 將 iCleaner 列為環保設計產品的報告，刊登於以下網址：http://www.epa.gov/dfe/pubs/projects/formulat/formpart.htm#7
身為產品工程的創新者以及半導體產業材料與材料包裝的業界領導者，ATMI 結合兩個核心準則 :「綠色工程的 12 個原則」以及「綠色化學品的 12 個原則」，來協助發展產品設計。
ATMI 與客戶合作，開發出應用於半導體生產製程的清洗劑。透過 ATMI 的高效率研發(High Productivity Development)設備與「12 個原則」方法，研發團隊得以發展出全新、低臭味且對環境無害的配方，創造高效率、低成本的線上清洗方式。基準清潔(Baseline cleanliness) 對積體電路 (IC) 製程環境來說，是至關重要的部分，而隨著越來越多的先進電子產品尺寸要求輕薄短小化，晶圓處理環境中的晶圓表面與其他表面的清洗更顯關鍵。除安全與環境考量外，與過去的方法相比，該產品強化的清洗效能在不影響良率的前提之下，不但可提升生產率，對製程更無其他影響。
「我們的高效率研發(High Productivity Development)能力持續且快速地為合作夥伴與客戶帶來突破性的解決方案。」ATMI 執行副總裁暨微電子事業部總經理 Tod Higinbotham 特別指出。「我們很高興能夠朝此方向努力，有效地達成客戶的需求。而達到 EPA 標準並榮獲 DfE 標章，更是我們積極邁向化學及材料發展的第一步。」
身為產品工程的創新者以及半導體產業材料與材料包裝的業界領導者，ATMI 結合兩個核心準則 :「綠色工程的 12 個原則」以及「綠色化學品的 12 個原則」，來協助發展產品設計。
ATMI 與客戶合作，開發出應用於半導體生產製程的清洗劑。透過 ATMI 的高效率研發(High Productivity Development)設備與「12 個原則」方法，研發團隊得以發展出全新、低臭味且對環境無害的配方，創造高效率、低成本的線上清洗方式。基準清潔(Baseline cleanliness) 對積體電路 (IC) 製程環境來說，是至關重要的部分，而隨著越來越多的先進電子產品尺寸要求輕薄短小化，晶圓處理環境中的晶圓表面與其他表面的清洗更顯關鍵。除安全與環境考量外，與過去的方法相比，該產品強化的清洗效能在不影響良率的前提之下，不但可提升生產率，對製程更無其他影響。
「我們的高效率研發(High Productivity Development)能力持續且快速地為合作夥伴與客戶帶來突破性的解決方案。」ATMI 執行副總裁暨微電子事業部總經理 Tod Higinbotham 特別指出。「我們很高興能夠朝此方向努力，有效地達成客戶的需求。而達到 EPA 標準並榮獲 DfE 標章，更是我們積極邁向化學及材料發展的第一步。」
