安捷倫科技公司(Agilent Technologies Inc.)日前發表Agilent B1500A半導體器件分析儀用的新一代EasyEXPERT參數分析軟體。此新的EasyEXPERT 2.0軟體提供一個直覺、任務導向的半導體器件特性描述方法,可在製程開發、模擬、可靠度和錯誤分析等非生產應用中用來測試器件。安捷倫還推出了Desktop EasyEXPERT 2.0,該軟體可讓使用者在MS Windows® PC上迅速而容易地開發應用測試及執行資料分析。現在使用者首度可以在他們的參數分析儀和桌上型PC上執行相同的參數測試軟體,從而為實驗室和工作台上的參數測試建立一個完美的實驗室與開發環境。
安捷倫半導體測試部門副總裁暨總經理Minoru Ebihara表示:「EasyEXPERT 2.0和Desktop EasyEXPERT 2.0為實驗室環境中的工程師,提供之前只有在參數測試生產環境中才能使用的功能。採直覺設計的EasyEXPERT自去年推出以來,已經廣泛被業界採用。我們預期這個版本新增的強大特性加上Desktop EasyEXPERT選項,將能協助客戶進一步提升他們的生產力。」
EasyEXPERT 2.0具備的幾項新能力包括新的快速測試模式、為Agilent B2200A和B2201A而改進的切換矩陣控制功能、以及新的自動資料轉存選項。這些特性使從事半導體製程特性描述與開發的工程師和科學家,能經由自動化的方法完成過去許多需要手動執行的任務,如對晶圓的重複量測及以圖形方式比較結果,進而提高效率和降低成本。
到目前為止,EasyEXPERT還只能在Agilent B1500A半導體器件分析儀上使用,該軟體已於2005年8月上市。安捷倫在發表EasyEXPERT 2.0的同時,也為現有及新的Agilent B1500A客戶提供該軟體的免費版本Desktop EasyEXPERT 2.0。Desktop EasyEXPERT 2.0在基於MS Windows的PC上執行,讓使用者能迅速而容易地開發應用測試及執行資料分析。由於Desktop EasyEXPERT可讓使用者將這些功能移到獨立的PC上,因此幾乎可以100%的利用B1500A的量測資源。如果PC中安裝了Agilent I/O程式庫和GPIB(通用介面匯流排)介面,則亦可使用Desktop EasyEXPERT 2.0從外部控制B1500A。
EasyEXPERT 2.0新的快速測試特性提供一個高效自動化測試環境,使用者可以用常駐於半自動化晶圓探測器上的晶圓圖來同步執行測試序列,從而加快原本複雜又費時的過程及減少測試成本。EasyEXPERT 2.0還提供為Agilent B2200A和B2201A而改進的切換矩陣控制功能,讓使用者能輕易地在待測器件(DUT)間切換,以及使用快速測試模式來自動執行模組中的DUT選擇。使用者還可利用新的自動轉存能力,對透過互動或快速測試模式擷取到的資料選擇正確的檔案名稱、格式和輸出目標,從而改善資料管理能力。
由於Desktop EasyEXPERT是在標準PC上執行,因此使用者可以完全控制PC的硬體配置及符合公司認可的IT標準。Desktop EasyEXPERT的未來版本,可望支援在半導體製程特性描述中所採用的其他安捷倫儀器。就像常駐於B1500A中的EasyEXPERT版本一樣,Desktop EasyEXPERT也支援GPIB通訊,因此使用者可透過GPIB指令來直接控制其他的儀器。
除了改進的各項特性之外,EasyEXPERT 2.0還包含新的轉換工具,當Agilent 4155和4156半導體參數分析儀的現有使用者升級到B1500A時,可將他們的設定檔轉取到EasyEXPERT環境中,這樣就不必重建檔案,既可減少轉換成本,使用者也能很快開始使用B1500A。
EasyEXPERT 2.0預計在2006年5月1日上市,屆時,B1500A EasyEXPERT 1.0的現有使用者可至www.agilent.com/see/B1500A網站下載免費的軟體升級。Desktop EasyEXPERT的初始版本,也會免費提供給現有及未來的B1500A客戶使用。
Agilent EasyEXPERT軟體小檔案
安捷倫的EasyEXPERT軟體提供一個創新、任務導向的器件特性描述方法,讓每一位使用者都能成為參數測試專家。EasyEXPERT軟體提供許多器件應用測試,使用者可依所需的量測類型來加以選擇。完成一些簡單的選擇,如按分類來確認技術及選擇適當的器件類型之後,軟體便會選擇適合的設定,執行量測,分析資料並顯示結果。有了EasyEXPERT軟體,即使是初學者也能立刻在B1500A上執行有效的量測。EasyEXPERT軟體會連同Desktop EasyEXPERT隨Agilent B1500A一起出貨。
Agilent B1500A小檔案
Agilent B1500A基於Windows的半導體器件分析儀及EasyEXPERT軟體,提供一個新的半導體器件特性描述方法。B1500A整合了電容vs.電壓(CV)和電流vs.電壓(IV)量測,能節省半導體測試工程師的時間及提高生產力。Agilent B1500A為參數特性描述與分析提供一個完整、獨立且可擴充的解決方案,能處理採平版印刷和奈米技術的65 nm器件。
Agilent B2200A和B2201A小檔案
B2200A和B2201A高效能切換主機提供優異的低電流洩漏和電容量測效能,而沒有其他解決方案的各種限制。此兩款主機能支援1 fA (B2200A) 和 10 fA (B2201A) 量測,意謂著不會大幅減損搭配操作的半導體參數分析儀之效能。支援12、24、36或48組輸出配置的模組式結構,提供了最佳的彈性。操作員可以透過數字鍵盤或光筆選項,彈性運用輔助LED顯示器和面板控制。
安捷倫科技小檔案
安捷倫科技(NYSE代號:A)是全球通訊、電子和生命科學技術的領導廠商。該公司
擁有27,000名員工,服務的客戶遍佈全球110多個國家。安捷倫2005會計年度的獲利淨
值為51億美元。有關安捷倫科技更詳細的資訊,請查詢 www.agilent.com.tw 網站。
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