FormFactor公司（Nasdaq: FORM）近日宣佈其Takumi參數化晶圓探針卡達成一項重大里程碑，獲得全球各地二十家元件製造領導廠商採用。Takumi 探針卡是一款先進的探測解決方案，協助IC製造商進行在線與線端的參數化測試。Takumi探針卡將FormFactor的探針卡技術與專業領域擴展至半導體前段製程，協助IC製造商提早驗證設計內容、檢驗製程的效能，以及達到更高的良率。Takumi探針卡的高接觸精準度，讓IC製造商能在生產晶圓上運用較小的測試襯墊以及更窄的切割道，進而讓每片晶圓生產出更多的晶粒。
隨著新世代元件的製程範圍持續縮減，元件與製程效能的偏差範圍亦須隨之降低。運用FormFactor的Takumi探針卡進行參數化測試，能快速且具成本效益地產生參數化量測結果，使製造商迅速找出製程問題的根源，進一步將這些問題對良率的影響程度降至最低。Takumi探針卡將低電流的量測能力推進到飛安培*（femtoampere）的等級，故能支援各種參數化測試應用。
為使每片晶圓能生產出更多的晶粒，IC製造商不僅朝向更小的設計規則，亦努力讓晶圓上用來分割晶粒的切割道縮得更窄。由於晶圓偵測的測試結構是位在這些切割道內，因此晶圓探針卡技術的規格必須縮得夠小，才能穩定且重複地接觸到這些更小的測試襯墊，而不會破壞鄰近的晶粒。Takumi探針卡採用FormFactor發展成熟的專利型3D微機電系統（MEMS）MicroSpring®接觸技術，帶來絕佳的接觸精準度，能支援30x30微米的襯墊尺吋，並計畫進一步縮小支援的襯墊尺吋。高度的精準度使Takumi能支援許多尖端的參數化測試應用。運用MrcroSpring接觸設計的低接觸力特性，讓偵測過程中探針鑽入金屬層的情況減至最低，進而降低污染並保護元件的性能。
Takumi探針卡亦搭載一個可交換的偵測介面，大幅改進總持有成本與探針卡的正常運作時間。Takumi偵測介面若需維修或更換，IC製造商僅須花數分鐘將舊介面換成新介面，不必維修或更換整個探針卡。
FormFactor公司執行長Igor Khandros表示：「自推出這18個月以來，全球各地一線IC製造商紛紛採用我們的Takumi參數化解決方案，因為它能滿足現今先進晶圓廠在參數化測試效能與持有成本方面的嚴苛要求。Takumi參數化解決方案將我們晶圓探針卡技術的各項效益帶入到參數化測試領域，在降低主流與新興晶圓偵測應用的成本策略方面，Takumi是一個重要的解決方案。」
*飛安培(femtoampere)是10-15安培
隨著新世代元件的製程範圍持續縮減，元件與製程效能的偏差範圍亦須隨之降低。運用FormFactor的Takumi探針卡進行參數化測試，能快速且具成本效益地產生參數化量測結果，使製造商迅速找出製程問題的根源，進一步將這些問題對良率的影響程度降至最低。Takumi探針卡將低電流的量測能力推進到飛安培*（femtoampere）的等級，故能支援各種參數化測試應用。
為使每片晶圓能生產出更多的晶粒，IC製造商不僅朝向更小的設計規則，亦努力讓晶圓上用來分割晶粒的切割道縮得更窄。由於晶圓偵測的測試結構是位在這些切割道內，因此晶圓探針卡技術的規格必須縮得夠小，才能穩定且重複地接觸到這些更小的測試襯墊，而不會破壞鄰近的晶粒。Takumi探針卡採用FormFactor發展成熟的專利型3D微機電系統（MEMS）MicroSpring®接觸技術，帶來絕佳的接觸精準度，能支援30x30微米的襯墊尺吋，並計畫進一步縮小支援的襯墊尺吋。高度的精準度使Takumi能支援許多尖端的參數化測試應用。運用MrcroSpring接觸設計的低接觸力特性，讓偵測過程中探針鑽入金屬層的情況減至最低，進而降低污染並保護元件的性能。
Takumi探針卡亦搭載一個可交換的偵測介面，大幅改進總持有成本與探針卡的正常運作時間。Takumi偵測介面若需維修或更換，IC製造商僅須花數分鐘將舊介面換成新介面，不必維修或更換整個探針卡。
FormFactor公司執行長Igor Khandros表示：「自推出這18個月以來，全球各地一線IC製造商紛紛採用我們的Takumi參數化解決方案，因為它能滿足現今先進晶圓廠在參數化測試效能與持有成本方面的嚴苛要求。Takumi參數化解決方案將我們晶圓探針卡技術的各項效益帶入到參數化測試領域，在降低主流與新興晶圓偵測應用的成本策略方面，Takumi是一個重要的解決方案。」
*飛安培(femtoampere)是10-15安培
