安捷倫科技（Agilent Technologies Inc.）日前發表專為解決半導體製造與研究環境工程人員之評估需求而設計的新一代參數測試平台。Agilent 4080系列以前所未見的效能，涵蓋完整範圍之量測需求 – 從主流製程到45奈米以上的先進製程。
採先進製程的新晶圓製造廠，將必須面對更嚴竣的參數測試挑戰。快閃記憶體，尤其是NAND快閃記憶體，也會在參數測試上造成一些困難的挑戰。出於需要，參數測試已經超越純DC量測，而進一步包含各種不同的量測類型，包括平行測試、快閃記憶體儲存單元寫入/抹除測試及RF S參數特性描述。因為預期到這些需求，安捷倫開發了多樣化的4080參數測試平台。
Agilent 4080系列所採用的新平台具備了更快的CPU及同步/非同步平行測試能力，有助於大幅提升量測速度。4080系列是一款可擴充的模組式生產測試平台，可讓客戶輕易地增加新的測試能力，例如NAND/NOR快閃記憶體儲存單元特性描述和RF S參數量測。該系列共推出三種機型：4082A參數測試系統 – 通用參數測試用；4082F快閃記憶體儲存單元參數測試系統 – NAND/NOR快閃記憶體測試用；以及4083A DC/RF參數測試系統 – 可滿足最新RF裝置的高頻量測需求。
安捷倫科技半導體測試事業部副總裁暨總經理Minoru Ebihara表示：「當我們現有的客戶擴大營運規模或建立新的晶圓廠時，Agilent 4080系列可以協助他們解決新一代產品的參數測試挑戰。此外，我們很高興為繼續擴展的NAND快閃記憶體市場，提供生產就緒（production-ready）測試解決方案。」
更快的CPU和新的虛擬多測試頭技術可進一步提升效能
Agilent 4080系列具備同業最佳的效能和功能，以及領先業界的技術進展。該系列擁有一顆功能超強的CPU，在不修改程式的情況下，平均可使轉移的4070測試計畫速度提升10%到20%。
執行Agilent SPECS（Semiconductor Process Evaluation Core Software；半導體製程評估核心軟體）測試環境的4080系列，是同時支援同步和非同步平行測試的首款參數測試器。除了同步平行量測 – 對少量的裝置來說是極有效率的技術 – 之外，安捷倫還新推出功能強大的專屬虛擬多測試頭技術，其可透過先進的“非同步平行”測試能力完全獨立地執行測試，比起傳統的序列式測試方法最多可減少50%的測試時間。
統一的結構與三種不同配置
Agilent 4080系列以一個統一的結構為基礎。全部三種機型都支援兩種DC切換矩陣卡：標準低電流版和超低電流版。這些儀器還具備高速電容量測單元（HS-CMU），可在1 kHz到2 MHz的範圍執行超快的電容量測。
Agilent 4082A參數測試系統是一高速生產測試器，專為從主流製程到45奈米以上先進製程的所有量測需求而設計。
Agilent 4082F快閃記憶體儲存單元參數測試系統是為了解決快閃記憶體儲存單元測試的各種挑戰而設計，其包含半導體脈衝產生器單元（SPGU）主機和高電壓SPGU（HV-SPGU）模組。4082F HV-SPGU具備+/- 40 V輸出（80 V峰對峰），能控制脈衝的上升和下降時間（小到20 ns），也能準確控制解析度小到2 mV的脈衝位準。
Agilent 4083A DC/RF參數測試系統是第一款在測試頭整合20 GHz 8x10 RF矩陣之生產參數測試器。4083A RF矩陣在一次連接中最多可量測5個RF結構，透過這項能力不但加快了量測速度，還可因減少接點磨損而延長探測卡的使用壽命。
有關Agilent 4080系列的詳細資訊，請造訪www.agilent.com/see/4080。
Linux的支援與4070系列相容性使成本減到最低
Agilent 4080系列系統軟體及Agilent SPECS和SPECS-FA測試環境完全以Linux為基礎，目前使用4070系列的客戶不太需要修改現有的程式碼就能直接利用Agilent 4080系列新的硬體功能，從而加速產能的提升。
