KLA-Tencor 公司發布最新的探針式表面輪廓測量系統 P-6™，該系統針對光電太陽能電池製造等科學研究與生產環境，提供一組獨特的先進功能組合。P-6 系統具備以先進半導體輪廓儀系統開發的測量技術優勢，但採用了較小、較經濟的桌面型機台設計，可接受最大至 150 釐米的樣本。
KLA-Tencor 成長與新興市場集團副總裁 Jeff Donnelly 表示：「我們很開心能推出 P-6 探針系統，該系統將為科學與太陽能客戶提供應用上最佳的功能組合。對於太陽能市場，P-6 能夠在開發階段提高太陽能電池效率、監控生產製程品質所需的解析度、掃描品質以及自動控制能力。」
P-6 探針式輪廓儀包含了 KLA-Tencor 自動化 P-16+ 探針式輪廓儀的眾多功能，充分承襲其最佳技術與效能：
• 低雜訊基底可改善對微小表面特徵的測量靈敏度
• 小於 6 埃的階高可重複性，確保了嚴苛的製程控制
• 150 毫米 X-Y 樣本載台可實現覆蓋整個基底的單一測量
• 2D 應力測量與分析可將缺陷降至最低並提升良率
• 功能強大且容易操作的分析軟體，能提供高階應用的靈活性
P-6 輪廓儀已通過重要太陽能產品製造商 BP Solar 的合格認證。BP Solar 技術副總裁 Eric Daniels 表示：「經由對 KLA-Tencor P-6 系統的評估，我們證明其對於多種表面量測應用系統的一系列製程條件，具備高靈敏性，其中包括 ARC 薄膜、導線觸點及前表面紋理結構。對於支援我們的技術開發與生產改善，P6 是一項極富價值的工具。」
有關該公司的更多資訊，請參觀網站 http://www.kla-tencor.com。
KLA-Tencor 成長與新興市場集團副總裁 Jeff Donnelly 表示：「我們很開心能推出 P-6 探針系統，該系統將為科學與太陽能客戶提供應用上最佳的功能組合。對於太陽能市場，P-6 能夠在開發階段提高太陽能電池效率、監控生產製程品質所需的解析度、掃描品質以及自動控制能力。」
P-6 探針式輪廓儀包含了 KLA-Tencor 自動化 P-16+ 探針式輪廓儀的眾多功能，充分承襲其最佳技術與效能：
• 低雜訊基底可改善對微小表面特徵的測量靈敏度
• 小於 6 埃的階高可重複性，確保了嚴苛的製程控制
• 150 毫米 X-Y 樣本載台可實現覆蓋整個基底的單一測量
• 2D 應力測量與分析可將缺陷降至最低並提升良率
• 功能強大且容易操作的分析軟體，能提供高階應用的靈活性
P-6 輪廓儀已通過重要太陽能產品製造商 BP Solar 的合格認證。BP Solar 技術副總裁 Eric Daniels 表示：「經由對 KLA-Tencor P-6 系統的評估，我們證明其對於多種表面量測應用系統的一系列製程條件，具備高靈敏性，其中包括 ARC 薄膜、導線觸點及前表面紋理結構。對於支援我們的技術開發與生產改善，P6 是一項極富價值的工具。」
有關該公司的更多資訊，請參觀網站 http://www.kla-tencor.com。
