先進量測方案領導廠商美商吉時利儀器(Keithley Instruments;NYSE:KEI)宣布今後將與Stratosphere Solutions(Sunnyvale, CA)進行密切合作。Stratosphere Solutions是專為IC廠商提供創新參數良率改良方案的領導廠商。兩家公司將合作,運用Array TEG (測試元件群)技術,以支援先進製程的開發和監控。
IC製造商試圖製造越來越小的元件,因此sub-65nm的製程變異參數,對設計與測試工程人員形成艱鉅的挑戰。也因此,半導體產業愈來愈需要能夠有效監控極端敏感製程的解決方案,以提高IC效能同時維持良率。
Keithley 與Stratosphere Solutions 將為雙方的顧客提供獨特的特性分析架構,結合Keithley的S600系列參數測試系統 以及StratoPro™ IP,達成高產量、高流量、且可靠的參數量測,以確保顧客的成功。
Keithley事業管理副總裁Mark Hoersten表示:「隨著半導體技術的開展,元件微型化已達奈米等級,量測技術不僅必須跟上甚至還得超越製造商製造與測試這些元件的能力。作為半導體量測技術的領導廠商,Keithley希望與其他業界領導廠商合作,針對最先進的應用開發各種創新的解決方案。 」
Stratosphere Solutions策略長Prashant Maniar則表示:「我們很高興與Keithley合作,連結最頂尖的工具,推出各種創新、立即可用的互通解決方案。當技術邁向45nm製程,越來越多客戶面臨改進參數良率的挑戰;我們所共同推出經緊密整合且通過矽實體驗證(silicon-proven)的解決方案,能協助客戶提高參數良率、降低改進參數良率的成本、縮短測試時間、進而提高投資報酬率(Return on Investment, ROI)。
Keithley的S600系列參數測試系統能針對日新月異的元件技術進行調整,協助晶圓廠與晶圓代工業者降低測試的成本。此外,還能夠以極低的成本改成DC、RF或是array TEG測試器,藉由設備資產的再利用,降低整體測試成本。Series S600的最新成員Model S680,在單一測試系統中,融入平行測試功能、高DC靈敏度分析、fA等級的解析度、以及高達40 GHz的RF S參數量測功能,在65nm技術層級,提供業界最高的處理速度以及更低的持有成本。
Stratosphere獲獎無數的StratoPro屬於array TEG 架構產品。隨著製程技術精密到65nm,這類架構產品在半導體製程的特性分析上變得更為重要。此外,頂尖半導體廠商需要業界標準的方案來協助,StratoPro可符合這些需求,因為能在相同的矽元件空間內提供高出數千倍的密度、最高解析度的量測能力、 以及更優異的整體測試完整性。
StratoPro™是一款Parametric ActiveMatrix™ 矽元件IP 平台,讓晶圓廠與輕晶圓廠客戶能進行高準確性的特性分析,並得到各項電氣參數及其變異等晶粒內的統計數據。客戶可選擇經過65nm與45nm矽實體驗證的StratoPro平台,因為它提供10到1000倍的測試結構密度,能執行極高解析度的量測,搭配Keithley的測試器平台,更大幅縮短測試時間。晶圓廠客戶可在製程發展初期、良率提昇、以及生產監控等階段運用StratoPro™;輕晶圓廠客戶則可運用這款解決方案來分析與設計模式有關的製程變數。
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