2022年12月1日--半導體測試設備領導供應商愛德萬測試 (Advantest Corporation) (TSE: 6857) 今日發表E5620缺陷檢測掃瞄電子顯微鏡 (Defect Review Scanning Electron Microscope；簡稱DR-SEM)， E5620 DR-SEM可應用於光罩各階段所需的製程後缺陷檢測，從空白光罩玻璃到完成圖案轉移的光罩檢測和分類出極小 (ultra-small) 缺陷。具備高精準度與高效缺陷檢測能力的E5620 DR-SEM，將為次世代光罩產品品質提升做出卓越貢獻，並大大縮短光罩製造的生產週期。
E5620延續前代產品，提供愛德萬測試高穩定影像擷取技術，迅速且簡便匯入光罩光學檢測系統所提供缺陷位置資料，並自動生成缺陷位置的SEM影像。這款次世代系統除了機體精巧可以減少使用樓地板面積外，還針對高數值孔徑 (High NA) 極紫外光 (EUV)光罩需求做出多項升級。
愛德萬測試奈米科技事業群 (Nanotechnology Business Group) 資深副總Toshimichi Iwai指出：「我們與客戶一同釐清確定他們對High-NA EUV光罩檢測與分析的需求，將榮獲市場肯定的E5620 DR-SEM進一步升級各項關鍵能力。愛德萬測試團隊打造出卓越效能的E5620 DR-SEM，不僅能滿足今日光罩需求，更準備好迎接未來的EUV世代。」
E5620關鍵新功能
• 高空間解析度
• 高穩定、全自動化影像擷取
• 與光學光罩檢驗系統相容
• 選配：元素組成分析
• 選配：背向散射電子分析
最新E5620 DR-SEM現已開賣。愛德萬測試將於2022年12月14至16日假東京國際展示場 (Tokyo Big Sight) 舉行的日本國際半導體展 (SEMICON Japan) 進一步揭露其最新E5620 DR-SEM設備細節。更多資訊請於展會當日光臨第1549號愛德萬測試公司攤位。
關於愛德萬測試
愛德萬測試 (Advantest Corporation) (TSE: 6857) 為自動化測試與量測設備領導製造商，旗下產品應用於各類半導體設計和生產流程，領域涵蓋5G通訊、物聯網 (IoT)、自駕車，以及包括人工智慧 (AI) 和機器學習在內之高效能運算 (HPC) 等，其領先業界的系統和產品獲全球客戶信賴，整合至世界各地最先進的半導體生產線。為了因應接踵而來的測試挑戰和不斷推陳出新的應用，愛德萬測試也積極投入研發，不僅針對晶圓測試和最終測試開發先進測試介面解決方案，也生產光罩製造過程中最重要的掃描式電子顯微鏡 (SEM)，並提供系統級測試解決方案和其他測試相關周邊設備。1954年創立於日本東京的愛德萬測試，已成為在世界各地都有據點的全球化企業，同時秉持對國際社會的承諾，致力於實踐永續願景和社會責任。更多資訊請上：www.advantest.com.
