2012年9月21日 – 德國艾爾芙特 – X-FAB Silicon Foundries，前一陣子宣布MEMS元件出貨量跨越十億顆，今日又再次發表業界首個為微機電系統(MEMS)三軸慣性感測器(3D inertial sensor)提供的開放性平台，一個可以直接從代工廠量產的製程。為了取得三軸慣性感測器(3D inertial sensor)的技術，客戶可提供本身的設計或者使用X-FAB研發夥伴的技術導入量產而無須耗時與昂貴的研發過程。X-FAB的開放性平台製程可以加快產品導入市場並保證慣性感測器的品質。
新型的微機電系統(MEMS)技術可適用於非常廣泛的應用領域，例如手機、消費與遊戲類產品、玩具、汽車、機器人、工業與醫療等使用三軸加速度計(3D accelerometers)、或陀螺儀(gyroscopes)。同一個製程可以生產單軸與雙軸的加速度計，而加速度計(accelerometer)和陀螺儀(gyroscope)亦可在同一個製程中整合在單一晶片上，以實現六自由度的慣性感測單元。
X-FAB MEMS 產品線經理Iain Rutherford表示，”X-FAB開放性平台的製程開啟MEMS產業的新世代。我們正在改寫歷史，把[一個產品、一個製程]的限制轉換到開放性的平台，此方法給予任一個客戶使用世界級品質的製程，應用在不同的領域，也讓我們的客戶快速地實現他們的目標。”
X-FAB的新技術具備高可靠度、單晶矽的慣性質量(inertial masses)與drive-combs、特有的埋層連接(buried contact)技術讓單一的金屬層可以完成複雜的金屬連接、還有低寄生電容與EMI防護。三軸慣性感測器的新製程補足了X-FAB於2003年所建立並已被客戶使用的單軸/雙軸慣性感測器、壓力感測器、與紅外線感應熱電堆(thermopile)的開放平台技術，其中還包含現成的2G、10G、100G的加速度計IP。為了保證該技術的特性、穩定與高良率，X-FAB對該三軸慣性感測器的技術進行一步一步地品質驗證。X-FAB所有的生產工廠均通過ISO9001與ISO TS16949認證。
X-FAB 將在2012年9月25、26日舉辦一場慣性感測器新製程的網路研討會。http://www.xfab.com/ch/main/about-x-fab/events/eventsdetail/article/1088/25-26-sep/。
解決方案
該技術現在可提供工程服務與早期的原型設計，所有的品質驗證與設計規則將於2013年初完成並提供。
X-FAB公司簡介
X-FAB是先進的類比/數位/混合訊號積體電路的製造服務業者。X-FAB全球約有2400名員工，在德國的艾爾芙福(Erfurt)與德勒斯登(Dresden)、美國德州的樂波(Lubbock)、馬來西亞沙勞越的古晉(Kuching)各有一座晶圓廠。包含MEMS技術，製程平台以先進的CMOS與BiCMOS模組化為基礎，搭配1.0到0.13微米的技術，涵蓋汽車、通信、消費、與工業領域的各種應用。相關資訊，請上網查詢 www.xfab.com
