由勀傑科技代理的Thermofisher Scientific Phenom系列桌上型電子顯微鏡SEM(Scanning Electron Microscope),於2020上半年推出新一代Phenom XL G2桌上型電子顯微鏡。
本次將於2020/9/23 Wed. – 9/25 Fri.在Semicon Taiwan國際半導體展《K2488攤位》,全台首次實機展示Phenom XL G2。
圖一、新一代Phenom XL G2 大樣品艙電子顯微鏡
新一代Phenom XL G2 SEM與上代同樣可放置100 x 100 mm大型樣品,和40秒快速產生電子成像。值得注意的是,新一代XL G2升級自動化系統,減少檢測過程中人為發生的錯誤,提供快速精準的資訊,保持生產線上的流暢。
目前電子顯微鏡SEM已廣泛應用在許多行業中,用於分析微觀層面上的缺點和雜質,藉由分析的結果來調整生產過程,以確保產品在製造上都能符合高品質標準。但分析的過程裡,研究人員被要求執行重複性的步驟來分析物件,不但花費大量時間外,也拉長生產過程的週期和人為錯誤的風險。
新的自動化解決方案可以克服這些問題。
Phenom XL G2自動化系統帶入了繁複的工作流程中,能分析100 x 100mm的大型樣品,並在40秒內獲得高解析度圖像,提供了快速、準確的訊息。
Phenom XL G2同時整合了使用者操作界面,將觀看圖像和進行元素分析的螢幕兩者結合為一個全螢幕畫面,為使用者提供了評估品質所有的即時訊息。在研究人員發現樣品有疑似雜質的存在時,只要滑鼠點擊一下該位置,立即使用元素分析系統(EDS)分析所存在的元素。
圖二、Phenom XL G2正在進行金屬網內顆粒的EDS分析的螢幕畫面。
— 兩種自動化解決方案 —
PPI: Phenom Programming Interface
使用程式來控制電子顯微鏡的功能,擴展Phenom SEM更多的應用。
透過使用Python的編程語言編寫自己的程式進行自動化工作流程。
PPA: Phenom Process Automation
透過PPI的編程,我們提供客製化的應用程序給用戶,有了這些工具,工作流程中的許多步驟可以自動化。
自動化系統方案:
•在(多個)樣本的特定區域上獲取圖像
•根據形態或結構搜尋和結構組成
•根據SEM圖像計算質量指標
•生成分析結果報告
圖三、Phenom XL G2自動化系統頁面。
Phenom XL G2大樣品艙顯微鏡機台體積小,能夠放置在一般實驗室中或者生產線即時檢測分析,大大降低一般電子顯微鏡對於環境上的考量與限制,增加品質管理的便利性。
關於勀傑科技(K.C.Tech)
勀傑科技提供專業【電子顯微鏡影像分析】與【實驗室/企業廠房/環境整合】解決方案,主要是協助解決客戶端之電子顯微鏡、電子束曝光顯影系統、CD metrology和聚焦離子束顯微鏡,因外部磁場干擾,所造成影像解析能力下降及量測結果不準確的問題。
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