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改良式離子植入排氣管理可節省能源和資本成本

本文作者：Steven Ballance       點擊： 2016-12-26 12:59
前言：
 

 
近十年來，製造商與供應商致力於降低成本、減少自然資源的消耗，並在經濟條件允許或法令規定之下，使晶圓廠的營運更加環保。2000 年代初期，德州儀器(TI) 勾勒出一項契機，來重新思考晶圓廠中消耗最多能源與無塵室空氣的環節：離子植入作業。

 

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