圖：一款現代慣性測量單元的結構圖( 系統級封裝)；尺寸：2.5x3x0.86 mm；封裝：LGA-14
(IMU)，其定義就是一種系統級封裝晶片(SiP)。其中包含一個加速儀機械感測元件、一個陀螺儀機械感測元件，還有一個能把加速和角速度轉換成可讀取格式的電子電路系統( 也就是所謂的「腦部」)。MEMS 慣性測量單元已經發展了幾十年，已應用於部分利基市場。不過一直要到MEMS 技術達到一定成熟度，能支援低成本小型裝置，這類慣性測量單元廣泛建置在各種應用的情況才得以大幅增加。
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