為 MEMS 加速度計設計一個結構良好的機械外殼可確保從受監控資產中擷取高品質的 CbM 振動資料。用於封裝 MEMS 加速度計的機械外殼需要具備比整合式 MEMS 更傑出的頻率響應。本文利用模態分析，提供外殼設計可能實現的固有頻率。透過理論和 ANSYS 模態模擬示例，提供振動感測器設計指導。結果顯示，例如外殼形狀( 圓柱形或矩形等 ) 之幾何效應和高度主導了外殼設計的固有頻率。本文提供封裝單軸和三軸 MEMS 加速度計的機械設計示例，其諧振頻率為 21 kHz。本文並提供在外殼中整合環氧樹脂的指導以及感測器的電纜安裝和安裝選項。
什麼是模態分析，為何如此重要？
MEMS 振動感測器的封裝採用鋼材或鋁材外殼，能夠牢固連接在受監控資產上，並提供防水和防塵性能 (IP67)。良好的金屬外殼設計將確保從資產中測量出高品質的振動資料。理解模態分析是設計出良好機械外殼的必要條件。
圖 :ADXL1002 MEMS 加速度計的頻率響應。
