具有 21 kHz 諧振頻率的三軸 10 kHz MEMS 感測器
相較於單軸感測器，跨三個軸控制外殼設計的固有頻率更加困難，特別是當需要 21 kHz 性能時。
ADcmXL3021
幸運的是，ADI 開發出 ADcmXL3021±50g、10 kHz 三軸數位輸出 MEMS 振動感測模組，如圖21 所示。ADcmXL3021 採用 23.7 mm × 27.0 mm × 12.4 mm 鋁制封裝，配有四個安裝法蘭，可使用標準 M2.5 機器螺絲進行安裝。ADcmXL3021 封裝的鋁材和幾何形狀支援 x、y 和 z 軸上高於 21 kHz的諧振頻率。
圖:ADcmXL3021 三軸數位輸出 MEMS 感測器，採用鋁材封裝和柔性連接器。
