Toppan Photomask 安裝 KLA-Tencor 45 奈米生產的 TeraScanHR 系統

本文作者:admin       點擊: 2007-04-18 00:00
前言:
全球光罩檢測技術的領先者KLA-Tencor  宣布在成功的測試期間之後,Toppan Photomasks, Inc. 已經在其最先進的 45 奈米世代光罩的生產線中安裝 TerascanHR 光罩檢測系統。 

TerascanHR 系統是在 2007 年 3 月推出,是業界第一套具有 45 奈米世代生產能力的光罩檢測系統。系統具備卓越的解析度功能,能夠擷取 45 奈米節點中的小型缺陷與極度複雜的 OPC*,在關鍵層光罩生產中擁有最高的靈敏度。這個新系統為客戶提供廣泛的像素大小選擇,使得系統有能力處理數個晶片世代 - 從 130 奈米到 45 奈米和以下皆能應付自如。

Toppan Printing Co., Ltd., 半導體解決方案部門 (Semiconductor Solutions Division) 資深管理主任兼領導人 Akihiro Nagata 表示:「在開發與製造尖端的光罩時,建立檢測技術是最優先的問題之一。KLA-Tencor 是光罩檢測解決方案的技術領導者,而 Toppan Printing 則是全球最大的光罩供應商,兩者的合作可說再理想不過。透過結合了每個公司精密的技術之後,我相信我們能夠為我們的晶片製造商客戶提供先進的光罩,促成最先進的 IC 研發與生產的效率改良。」

KLA-Tencor Reticle and Photomask Inspection Division 副總裁兼總經理 Harold Lehon 表示:「我們與 Toppan 在 TerascanHR 系統的首次客戶測試評估期間的合作極具價值,不只是因為 Toppan 的技術專業已經是全球最先進的光罩製造商之一,同時也是因為 Toppan 能夠提供廣泛的光罩類型與裝置設計。在要求嚴苛的光罩製造環境中,我們能夠獲得 Toppan 對於 TerascanHR 系統水準提昇的認可,更證明了我們在 45 奈米和以下的光罩世代的技術能力。」 

KLA-Tencor 公司簡介:KLA-Tencor 是全球半導體製造和相關產業的良率管理及製程控制解決方案領導廠商。其總部位於美國加州聖荷西,在世界各地設有辦事處和服務機構。屬於 S&P 500 大公司的 KLA-Tencor 在 NASDAQ Global Select Market (納斯達克全球精選市場) 上市交易,交易代碼為 KLAC。關於該公司的相關資訊,請造訪公司網站  http://www.kla-tencor.com。

電子郵件:look@compotechasia.com

聯繫電話:886-2-27201789       分機請撥:11