VICTREX®PEEK®聚合物、VICOTE®塗料和APTIV™薄膜等高性能材料的領先全球製造商英國威格斯公司(Victrex plc)今天宣佈，世界領先光罩全方位解決方案供應商家登精密工業股份有限公司(Gudeng Precision Industrial Co., LTD)已推出以VICTREX PEEK聚合物所製造的8”與12”化學機械研磨環(Chemical Mechanical Planarization Ring; 簡稱CMP環)。VICTREX PEEK擁有耐磨耗特性、低微粒產生高純度與耐化學性，不但符合化學機械研磨製程中的嚴刻要求，並可延長CMP環在化學機械研磨(或稱晶圓研磨)過程中的使用壽命。因此，採用VICTREX PEEK所製造的CMP環可減少因更換已磨損的CMP環而產生的停工時間，進而降低每個晶圓的生產成本。
化學機械研磨是晶圓生產過程中一項關鍵性製程技術。主要作用為移除晶圓表面的介電層與金屬層，達到晶圓表面平坦化以進行後續薄膜沉積、蝕刻等製程步驟。而CMP環是化學機械研磨製程中的關鍵零組件，對於晶圓的品質和生產效率有著直接的影響。測試結果表示，VICTREX PEEK是製造CMP環的理想材料，其擁有極佳的耐磨耗性，磨損率僅為PPS的1/3，經磨損後產生較少的碎片及發塵量。採用VICTREX PEEK所製造的CMP環使用壽命相對較長，同是可有效地降低對晶圓的汚染。
家登精密技術經理李柏欣表示：『隨著半導體工業邁向更大晶圓尺寸、更高密度、更嚴苛生產環境，引進先進的材料和技術成為產業發展的重要關鍵。家登精密致力於提供具競爭優勢的產品，並持續地開發新型半導體製程設備產品。我們與威格斯已有相當深厚的合作基礎，目前我們的主要產品包括光罩傳送盒、晶圓盒以及機台設備內都已採用VICTREX PEEK產品。其卓越的特性，為我們帶來設計的創新與靈活性，更可提高終端用戶的製程良率與協助其降低系統總成本。』
威格斯台灣區總經理李自立表示：『VICTREX PEEK已被證明是半導體環境中最耐用的材料之一。以終端用戶如製程設備供應商與晶圓廠的角度來看，VICTREX PEEK 能協助減少系統成本、改善零件與設備效能、提供更高的設計自由度以及擴大産品的應用範圍。VICTREX PEEK並可用於半導體製程中各種不同的關鍵零組件與設備，特別是會與晶圓直接接觸的零組件，包括前開式晶圓傳送盒(FOUP)、晶圓盒以及包括高溫矩陣式托盤、測試插座、測試插座調準盤和老化測試插座等後端測試應用。』
VICTREX PEEK擁有的獨特綜合性能包括耐磨耗性、抗靜電性、超高純度、高耐熱性、耐化學性以及尺寸穩定性，不但符合半導體產業對材料的嚴苛要求，更可顯著地提升半導體製程效率與良率、降低製造成本、以及帶來創新設計與設計靈活性。
關於家登精密工業股份有限公司
家登精密工業股份有限公司成立於1998年，設立初期從事射出模具與高精度零件的製造與設計。自進入黃光製程領域後，家登精密工業已成為專門為PSM高階光罩提供超清淨光罩運輸/儲存盒及清洗設備的全球最大製造商之一，產品包括光罩傳送盒、光罩盒、CDA/N2氮氣淨化機/櫃及其它相關元件。如需瞭解更多資訊，請參閱公司網站www.gudeng.com
關於威格斯
英國威格斯公司 (Victrex plc) 是領先全球的高性能材料製造商，其產品包括VICTREX® PEEK® 聚合物、VICOTE® 塗料和APTIV™薄膜。這些材料具有獨特的綜合性能，可廣泛應用於不同的市場領域，有助於加工廠商和終端用戶實現更低成本、更高品質及更優性能的目標。
威格斯公司總部設在英國，Invibio® 是威格斯的生物材料業務部，主要為醫療設備製造商提供專用材料和服務。威格斯日本公司是英國威格斯公司的全資子公司。如需瞭解更多資訊，請參閱公司網站www.victrex.com 或www.victrex.mobi。
化學機械研磨是晶圓生產過程中一項關鍵性製程技術。主要作用為移除晶圓表面的介電層與金屬層，達到晶圓表面平坦化以進行後續薄膜沉積、蝕刻等製程步驟。而CMP環是化學機械研磨製程中的關鍵零組件，對於晶圓的品質和生產效率有著直接的影響。測試結果表示，VICTREX PEEK是製造CMP環的理想材料，其擁有極佳的耐磨耗性，磨損率僅為PPS的1/3，經磨損後產生較少的碎片及發塵量。採用VICTREX PEEK所製造的CMP環使用壽命相對較長，同是可有效地降低對晶圓的汚染。
家登精密技術經理李柏欣表示：『隨著半導體工業邁向更大晶圓尺寸、更高密度、更嚴苛生產環境，引進先進的材料和技術成為產業發展的重要關鍵。家登精密致力於提供具競爭優勢的產品，並持續地開發新型半導體製程設備產品。我們與威格斯已有相當深厚的合作基礎，目前我們的主要產品包括光罩傳送盒、晶圓盒以及機台設備內都已採用VICTREX PEEK產品。其卓越的特性，為我們帶來設計的創新與靈活性，更可提高終端用戶的製程良率與協助其降低系統總成本。』
威格斯台灣區總經理李自立表示：『VICTREX PEEK已被證明是半導體環境中最耐用的材料之一。以終端用戶如製程設備供應商與晶圓廠的角度來看，VICTREX PEEK 能協助減少系統成本、改善零件與設備效能、提供更高的設計自由度以及擴大産品的應用範圍。VICTREX PEEK並可用於半導體製程中各種不同的關鍵零組件與設備，特別是會與晶圓直接接觸的零組件，包括前開式晶圓傳送盒(FOUP)、晶圓盒以及包括高溫矩陣式托盤、測試插座、測試插座調準盤和老化測試插座等後端測試應用。』
VICTREX PEEK擁有的獨特綜合性能包括耐磨耗性、抗靜電性、超高純度、高耐熱性、耐化學性以及尺寸穩定性，不但符合半導體產業對材料的嚴苛要求，更可顯著地提升半導體製程效率與良率、降低製造成本、以及帶來創新設計與設計靈活性。
關於家登精密工業股份有限公司
家登精密工業股份有限公司成立於1998年，設立初期從事射出模具與高精度零件的製造與設計。自進入黃光製程領域後，家登精密工業已成為專門為PSM高階光罩提供超清淨光罩運輸/儲存盒及清洗設備的全球最大製造商之一，產品包括光罩傳送盒、光罩盒、CDA/N2氮氣淨化機/櫃及其它相關元件。如需瞭解更多資訊，請參閱公司網站
關於威格斯
英國威格斯公司 (Victrex plc) 是領先全球的高性能材料製造商，其產品包括VICTREX® PEEK® 聚合物、VICOTE® 塗料和APTIV™薄膜。這些材料具有獨特的綜合性能，可廣泛應用於不同的市場領域，有助於加工廠商和終端用戶實現更低成本、更高品質及更優性能的目標。
威格斯公司總部設在英國，Invibio® 是威格斯的生物材料業務部，主要為醫療設備製造商提供專用材料和服務。威格斯日本公司是英國威格斯公司的全資子公司。如需瞭解更多資訊，請參閱公司網站
