VICTREX®PEEK®聚合物、VICOTE®塗料和APTIV™薄膜等高性能材料的領先全球製造商英國威格斯公司(Victrex plc)今天宣佈，世界領先光罩全方位解決方案供應商家登精密工業股份有限公司(Gudeng Precision Industrial Co., LTD)已成功開發與量產以VICTREX ESD PEEK聚合物為基材的8”晶舟(wafer cassette)。這款半導體製程設備通常由美日廠商提供，家登精密的成功研發並導入量產代表著台灣半導體製程設備產業邁入新一里程碑。藉由本地研發與生產製造晶舟，不但可為台灣半導體業者提供具競爭力與差異化的產品以及更優質與迅速的技術服務支援，更可協助提升晶圓製程良率與減少系統總成本。
晶圓盒為一種密封隔離潔淨容器，主要提供晶圓片進出各式標準化機械式介面(Standard Mechanical InterFace；SMIF)的半導體製程系統輸送過程，或儲放於潔淨環境。而晶舟是放置於晶圓盒內作於承載、傳送和保護晶圓的容器。半導體晶圓廠內，晶舟在運送過程中會因靜電放電(Electrostatic Discharge; ESD)引發的自動作業系統當機。採用VICTREX ESD PEEK所製造的晶舟，可避免晶圓與晶舟溝槽因摩擦產生靜電放電而導致電路燒壞或因靜電吸附而導致晶圓遭到污染，達到降低靜電累積與防護的目的。此外，相較用於晶舟如PP或PBT等傳統材料，VICTREX PEEK擁有的高尺寸穩定性，在持續溫度變化與長期清洗下不會造成尺寸變化或變形，根據客戶反應，以VICTREX ESD PEEK聚合物為基材的晶舟使用壽命最高可達九年。而其擁有的低發塵量/低析出物，能夠減少晶圓與晶舟溝槽之間的接觸點形成發塵或微粒產生，避免造成晶圓瑕疵。
家登精密技術經理李柏欣表示：『身為世界領先光罩全方位解決方案供應商，我們一直以值得信賴和符合成本效益的產品贏得市場和業界的好評。我們秉持對研發的熱情，致力於自有開發與創新設計是我們一向追求的目標。我們之所以採用VICTREX ESD PEEK做為新產品開發的材料，不單只是VICTREX ESD PEEK擁有包括抗靜電性、高尺寸穩定性以及低發塵量/低析出物等獨特綜合性能，更是基於雙方深厚的合作基礎。此次的成功也奠定我們在台灣半導體製程設備產業供應鏈的地位。』
威格斯台灣區總經理李自立表示：『靜電產生是半導體製程中出現的主要問題之一，著對晶圓製程良率有直接的影響。VICTREX ESD PEEK是威格斯特別針對半導體產業開發的產品。採用VICTREX ESD PEEK所製造的晶舟，其特殊的抗靜電材質可降低摩擦靜電的產生，有效地避免因靜電導致電路燒壞或因靜電吸附導致晶圓遭到污染；而VICTREX PEEK的固有低發塵量/低析出物特性，能夠減少晶圓與晶舟溝槽之間的接觸點形成發塵或微粒產生，避免造成晶圓瑕疵，進而提升晶圓製程良率。』
除了基本的耐磨耗性、超高純度、高耐熱性、耐化學性以及尺寸穩定性，VICTREX ESD PEEK特別添加抗靜電材料，可大幅減少因摩擦產生的靜電以及避免造成電路損壞。這款新開發產品不但符合半導體產業對材料的嚴苛要求，更可顯著地提升半導體製程效率與良率、降低製造成本、以及帶來創新設計與設計靈活性。產品系列包括 ESD 101、ESD 102、ESD 103以及ESD 201，表面阻抗值皆為106至109 ohm/sq，可依對於耐磨性、吸濕性與氣體釋放(outgassing)特性的不同要求選擇適用的產品。
關於家登精密工業股份有限公司
家登精密工業股份有限公司成立於1998年，設立初期從事射出模具與高精度零件的製造與設計。自進入黃光製程後，家登精密工業已成為專門為PSM高階光罩提供超清淨光罩運輸/儲存盒及清洗設備的全球最大製造商之一，產品包括光罩傳送盒、光罩盒、CDA/N2氮氣淨化機/櫃及其它相關元件。如需瞭解更多資訊，請參閱公司網站www.gudeng.com
關於威格斯
英國威格斯公司 (Victrex plc) 是領先全球的高性能材料製造商，其產品包括VICTREX® PEEK® 聚合物、VICOTE® 塗料和APTIV™薄膜。這些材料具有獨特的綜合性能，可廣泛應用於不同的市場領域，有助於加工廠商和終端用戶實現更低成本、更高品質及更優性能的目標。
威格斯公司總部設在英國，Invibio® 是威格斯的生物材料業務部，主要為醫療設備製造商提供專用材料和服務。威格斯日本公司是英國威格斯公司的全資子公司。如需瞭解更多資訊，請參閱公司網站www.victrex.com 或www.victrex.mobi。
晶圓盒為一種密封隔離潔淨容器，主要提供晶圓片進出各式標準化機械式介面(Standard Mechanical InterFace；SMIF)的半導體製程系統輸送過程，或儲放於潔淨環境。而晶舟是放置於晶圓盒內作於承載、傳送和保護晶圓的容器。半導體晶圓廠內，晶舟在運送過程中會因靜電放電(Electrostatic Discharge; ESD)引發的自動作業系統當機。採用VICTREX ESD PEEK所製造的晶舟，可避免晶圓與晶舟溝槽因摩擦產生靜電放電而導致電路燒壞或因靜電吸附而導致晶圓遭到污染，達到降低靜電累積與防護的目的。此外，相較用於晶舟如PP或PBT等傳統材料，VICTREX PEEK擁有的高尺寸穩定性，在持續溫度變化與長期清洗下不會造成尺寸變化或變形，根據客戶反應，以VICTREX ESD PEEK聚合物為基材的晶舟使用壽命最高可達九年。而其擁有的低發塵量/低析出物，能夠減少晶圓與晶舟溝槽之間的接觸點形成發塵或微粒產生，避免造成晶圓瑕疵。
家登精密技術經理李柏欣表示：『身為世界領先光罩全方位解決方案供應商，我們一直以值得信賴和符合成本效益的產品贏得市場和業界的好評。我們秉持對研發的熱情，致力於自有開發與創新設計是我們一向追求的目標。我們之所以採用VICTREX ESD PEEK做為新產品開發的材料，不單只是VICTREX ESD PEEK擁有包括抗靜電性、高尺寸穩定性以及低發塵量/低析出物等獨特綜合性能，更是基於雙方深厚的合作基礎。此次的成功也奠定我們在台灣半導體製程設備產業供應鏈的地位。』
威格斯台灣區總經理李自立表示：『靜電產生是半導體製程中出現的主要問題之一，著對晶圓製程良率有直接的影響。VICTREX ESD PEEK是威格斯特別針對半導體產業開發的產品。採用VICTREX ESD PEEK所製造的晶舟，其特殊的抗靜電材質可降低摩擦靜電的產生，有效地避免因靜電導致電路燒壞或因靜電吸附導致晶圓遭到污染；而VICTREX PEEK的固有低發塵量/低析出物特性，能夠減少晶圓與晶舟溝槽之間的接觸點形成發塵或微粒產生，避免造成晶圓瑕疵，進而提升晶圓製程良率。』
除了基本的耐磨耗性、超高純度、高耐熱性、耐化學性以及尺寸穩定性，VICTREX ESD PEEK特別添加抗靜電材料，可大幅減少因摩擦產生的靜電以及避免造成電路損壞。這款新開發產品不但符合半導體產業對材料的嚴苛要求，更可顯著地提升半導體製程效率與良率、降低製造成本、以及帶來創新設計與設計靈活性。產品系列包括 ESD 101、ESD 102、ESD 103以及ESD 201，表面阻抗值皆為106至109 ohm/sq，可依對於耐磨性、吸濕性與氣體釋放(outgassing)特性的不同要求選擇適用的產品。
關於家登精密工業股份有限公司
家登精密工業股份有限公司成立於1998年，設立初期從事射出模具與高精度零件的製造與設計。自進入黃光製程後，家登精密工業已成為專門為PSM高階光罩提供超清淨光罩運輸/儲存盒及清洗設備的全球最大製造商之一，產品包括光罩傳送盒、光罩盒、CDA/N2氮氣淨化機/櫃及其它相關元件。如需瞭解更多資訊，請參閱公司網站
關於威格斯
英國威格斯公司 (Victrex plc) 是領先全球的高性能材料製造商，其產品包括VICTREX® PEEK® 聚合物、VICOTE® 塗料和APTIV™薄膜。這些材料具有獨特的綜合性能，可廣泛應用於不同的市場領域，有助於加工廠商和終端用戶實現更低成本、更高品質及更優性能的目標。
威格斯公司總部設在英國，Invibio® 是威格斯的生物材料業務部，主要為醫療設備製造商提供專用材料和服務。威格斯日本公司是英國威格斯公司的全資子公司。如需瞭解更多資訊，請參閱公司網站www.victrex.com 或
