SEMI (國際半導體設備材料產業協會) 日前授權SAHTECH (財團法人安全衛生技術中心) 進行SEMI Safety Guideline 安全基準中文化專案，並正式發表成果。該安全基準涵括半導體製造之健康及安全，如電器設計驗證測試、火災風險評估與降低，以及半導體製造設備之環保，如能源、電力、原料節約等內容，是SEMI第一份中文化的標準文件，目標在建立華人地區對於高科技產業環保安全與健康方面的共識。
過去二十年間，任何突如其來的廠房工安事件造成的營運中斷，動輒肇致數十億到上百億的財物損失和人員傷亡，因此在台灣持續增加半導體、平面顯示器和太陽能產業建廠投資之際，環保工安和企業社會責任等議題也相對重要。而在國際間相關的高科技產業安全基準中，又以SEMI制定的半導體製造設備環保、健康及安全基準(SEMI S2-0706)最被半導體與平面顯示器產界廣泛採用。然而，語言的隔閡往往造成各公司廠區部門間的解讀差異，或者使用者與設備製造商的溝通認知差距，成為安全衛生和環保的潛在風險。有鑑於此，在SEMI和SAHTECH的號召之下，包括台積電、聯電、奇美、友達、茂德、漢民、優貝克、旺宏等大廠，以及勞工安全衛生研究所都積極參與中文化工作，希望幫助降低全球華人地區工安事故發生機率。
由於半導體製程越來越精密，製程設備也越來越複雜，TSMC風險管理處處長同時也擔任SEMI EHS Committee安全衛生環保標準委員會主席的許芳銘表示：「在開發新製程設備時，絕對需要從設計安全性開始考量，同時要強化環境的配套，才能確保人員和設備的安全性與環境不受衝擊。設備標準中文化將有助於提升所有華人地區設備使用者和設備製造商間的溝通品質。透過SEMI所提供的平台，TSMC也希望能夠有效增進華人業者與全世界設備廠商的溝通，並且制訂或修改相關安全標準以符合台灣高科技產業的某些特殊需求。」
而在平面顯示器方面，AUO風險暨環安管理部經理牛銘光指出：「SEMI安全基準的中文化讓國際產業標準的定義一致，對業界有三個好處，一是有助於進行工程師的教育訓練工作，強化安全認知，二是降低我們與設備供應商的認知差距，尤其可大幅提昇本土設備供應商的安全設計能力，最後是發揮台灣同業力量，共同提升我們和歐美日韓設備供應商廠商的採購談判能力。」在設備發展趨勢上，半導體製造設備趨向精緻化，平面顯示器製造設備則趨向大型化，因此除了可跨產業共用的火災風險、電器安全、風險評估等安全基準外，對於平面顯示器產業而言，化學品與氣體輸送/儲存設備的安全規範相對重要。
SEMI台灣暨東南亞區總裁曹世綸表示：「SEMI在設備安全基準制定上已有35年歷史，透過中文化安全規範標準文件的推廣，SEMI希望能夠提升國內半導體與平面顯示器產業相關從業人員對於安全及環境維護的知識。未來，SEMI預計將發表FPD產業的相關中文化標準，同時也會成立太陽能產業標準委員會，希望持續促進設備商與終端使用者的溝通，並進一步協助政府建立一套符合國內高科技產業環境衛生安全的完整法規。」
SAHTACH總經理余榮彬指出：「在產業標準的發展上，亞洲國家通常是由政府來主導，業界被動遵循。我們希望這次的產業國際標準中文化可以成為觸媒，從使用者的角度提供政府作為擬訂相關法規的參考。」
漢民科技總經理許金榮表示：「中文化的安全基準有清楚的規範與定義，不僅對設備廠商和客戶雙方都是一種保護，也提升了溝通效率、準確度，以及雙方的信任度。從設備商的角度來看，我們很樂意和使用者一起討論完整的環保安全配套措施。」
過去，台灣在產業國際標準的制定上多屬於跟隨者的角色，然而，本次與會業者均希望台灣高科技產業能更積極的在國際發聲，參與國際標準的制定。事實上，SEMI日前所公佈的S26就是第一個由台灣FPD業者所共同參與修訂的產業國際標準。SAHTECH 總經理余榮彬指出：「S26是台灣業者第一次真正參與的國際標準制定，從台灣FPD產業的使用者角度來提出標準建議。在SEMI所提供的平台上，未來，太陽能產業也可以依循一樣的模式，建立適用於台灣使用者的國際標準。」
而隨著環保意識抬頭和全球暖化問題影響下，不論在半導體、平面顯示器或太陽能產業，「節能」成為業者們共同的議題，這次公佈的S23也針對半導體製造設備的能源、電力和原料定訂節約基準，AUO和TSMC也都已經開始要求相關設備供應商符合包括水、電、化學材料等方面的節能規範，漢民科技所生產的製造設備也都符合S23的規範。此外，由於台灣位於地震帶，有了九二一大地震的停工經驗後，TSMC也期望SEMI可以聯合業界著手修定既有的設備防震的相關安全規範。
此外，配合經濟部推動設備本土化的政策下，包括AUO和TSMC、UMC等大廠也都運用以往與國外設備廠商的合作經驗，積極輔導和教育國內設備製造商，並希望藉由中文化的SEMI安全基準進一步提升台灣本土設備製造商在設計安全上的能力，以達到使用者的要求。
關於SEMI
SEMI (國際半導體設備材料產業協會) 是全球性的產業協會，致力於促進微電子、平面顯示器及太陽能光電等產業供應鏈的整體發展。會員涵括上述產業供應鏈中的製造、設備、材料與服務公司，是改善人類生活品質的核心驅動力。SEMI的服務項目包括：專業展會規劃、產業標準建立、市場研究調查、會員服務、教育訓練課程等。自1971年成立至今，SEMI不斷致力於協助會員公司快速取得市場資訊、提高獲利率、創造新市場、克服技術挑戰，以及促進會員與其客戶、投資者、供應商、政府及全球產業精英的關係。SEMI 的辦公室遍及新竹、上海、北京、新加坡、漢城、東京、莫斯科、聖荷西、奧斯汀及華盛頓。更多市場研究與展會訊息請參訪 www.semi.org
過去二十年間，任何突如其來的廠房工安事件造成的營運中斷，動輒肇致數十億到上百億的財物損失和人員傷亡，因此在台灣持續增加半導體、平面顯示器和太陽能產業建廠投資之際，環保工安和企業社會責任等議題也相對重要。而在國際間相關的高科技產業安全基準中，又以SEMI制定的半導體製造設備環保、健康及安全基準(SEMI S2-0706)最被半導體與平面顯示器產界廣泛採用。然而，語言的隔閡往往造成各公司廠區部門間的解讀差異，或者使用者與設備製造商的溝通認知差距，成為安全衛生和環保的潛在風險。有鑑於此，在SEMI和SAHTECH的號召之下，包括台積電、聯電、奇美、友達、茂德、漢民、優貝克、旺宏等大廠，以及勞工安全衛生研究所都積極參與中文化工作，希望幫助降低全球華人地區工安事故發生機率。
由於半導體製程越來越精密，製程設備也越來越複雜，TSMC風險管理處處長同時也擔任SEMI EHS Committee安全衛生環保標準委員會主席的許芳銘表示：「在開發新製程設備時，絕對需要從設計安全性開始考量，同時要強化環境的配套，才能確保人員和設備的安全性與環境不受衝擊。設備標準中文化將有助於提升所有華人地區設備使用者和設備製造商間的溝通品質。透過SEMI所提供的平台，TSMC也希望能夠有效增進華人業者與全世界設備廠商的溝通，並且制訂或修改相關安全標準以符合台灣高科技產業的某些特殊需求。」
而在平面顯示器方面，AUO風險暨環安管理部經理牛銘光指出：「SEMI安全基準的中文化讓國際產業標準的定義一致，對業界有三個好處，一是有助於進行工程師的教育訓練工作，強化安全認知，二是降低我們與設備供應商的認知差距，尤其可大幅提昇本土設備供應商的安全設計能力，最後是發揮台灣同業力量，共同提升我們和歐美日韓設備供應商廠商的採購談判能力。」在設備發展趨勢上，半導體製造設備趨向精緻化，平面顯示器製造設備則趨向大型化，因此除了可跨產業共用的火災風險、電器安全、風險評估等安全基準外，對於平面顯示器產業而言，化學品與氣體輸送/儲存設備的安全規範相對重要。
SEMI台灣暨東南亞區總裁曹世綸表示：「SEMI在設備安全基準制定上已有35年歷史，透過中文化安全規範標準文件的推廣，SEMI希望能夠提升國內半導體與平面顯示器產業相關從業人員對於安全及環境維護的知識。未來，SEMI預計將發表FPD產業的相關中文化標準，同時也會成立太陽能產業標準委員會，希望持續促進設備商與終端使用者的溝通，並進一步協助政府建立一套符合國內高科技產業環境衛生安全的完整法規。」
SAHTACH總經理余榮彬指出：「在產業標準的發展上，亞洲國家通常是由政府來主導，業界被動遵循。我們希望這次的產業國際標準中文化可以成為觸媒，從使用者的角度提供政府作為擬訂相關法規的參考。」
漢民科技總經理許金榮表示：「中文化的安全基準有清楚的規範與定義，不僅對設備廠商和客戶雙方都是一種保護，也提升了溝通效率、準確度，以及雙方的信任度。從設備商的角度來看，我們很樂意和使用者一起討論完整的環保安全配套措施。」
過去，台灣在產業國際標準的制定上多屬於跟隨者的角色，然而，本次與會業者均希望台灣高科技產業能更積極的在國際發聲，參與國際標準的制定。事實上，SEMI日前所公佈的S26就是第一個由台灣FPD業者所共同參與修訂的產業國際標準。SAHTECH 總經理余榮彬指出：「S26是台灣業者第一次真正參與的國際標準制定，從台灣FPD產業的使用者角度來提出標準建議。在SEMI所提供的平台上，未來，太陽能產業也可以依循一樣的模式，建立適用於台灣使用者的國際標準。」
而隨著環保意識抬頭和全球暖化問題影響下，不論在半導體、平面顯示器或太陽能產業，「節能」成為業者們共同的議題，這次公佈的S23也針對半導體製造設備的能源、電力和原料定訂節約基準，AUO和TSMC也都已經開始要求相關設備供應商符合包括水、電、化學材料等方面的節能規範，漢民科技所生產的製造設備也都符合S23的規範。此外，由於台灣位於地震帶，有了九二一大地震的停工經驗後，TSMC也期望SEMI可以聯合業界著手修定既有的設備防震的相關安全規範。
此外，配合經濟部推動設備本土化的政策下，包括AUO和TSMC、UMC等大廠也都運用以往與國外設備廠商的合作經驗，積極輔導和教育國內設備製造商，並希望藉由中文化的SEMI安全基準進一步提升台灣本土設備製造商在設計安全上的能力，以達到使用者的要求。
關於SEMI
SEMI (國際半導體設備材料產業協會) 是全球性的產業協會，致力於促進微電子、平面顯示器及太陽能光電等產業供應鏈的整體發展。會員涵括上述產業供應鏈中的製造、設備、材料與服務公司，是改善人類生活品質的核心驅動力。SEMI的服務項目包括：專業展會規劃、產業標準建立、市場研究調查、會員服務、教育訓練課程等。自1971年成立至今，SEMI不斷致力於協助會員公司快速取得市場資訊、提高獲利率、創造新市場、克服技術挑戰，以及促進會員與其客戶、投資者、供應商、政府及全球產業精英的關係。SEMI 的辦公室遍及新竹、上海、北京、新加坡、漢城、東京、莫斯科、聖荷西、奧斯汀及華盛頓。更多市場研究與展會訊息請參訪 www.semi.org
