石英晶體元件的領導廠商Epson Toyocom公司，已開發出高性能的小型石英式大氣壓力感應器。新感應器採用QMEMS (*1)技術支援特殊原創的壓力感測結構，體積僅12.5 cc，重量僅15 g，卻能精確至10 Pa (*2)或約1/10,000 bar (*3)之內，且擁有0.1 Pa的解析度(*4)。此項全新開發的產品，預計於2009會計年度完成商品化。Epson Toyocom將於九月30日於日本幕張舉辦的日本高新科技展(CEATEC Japan 2008)公開此一技術，並隨後在十月7日開幕的台北國際電子展(TAITRONICS 2008)於台灣愛普生科技攤位(K006)展出。
過往，壓力感應器大多為了能有精巧的外型而犠牲其性能。因此，需要高效能的應用裝置往往必須採用較大的結構。然而，Epson Toyocom的新型石英式壓力感測器卻能在極小的封裝產品中，同時提供高準確度和高解析度，這都要歸功於英叉式(tuning-fork)石英晶體單元作為壓力感測元件所提供的極穩定振盪頻率，以及QMEMS技術最新開發的原創壓力感測結構。
新型壓力感測器的效能與特色將為裝置設計人員帶來相當大的幫助，可縮減裝置外型尺寸，並大幅提升各種氣象及安全性應用裝置的效能。這些應用將包含：
-在氣象觀察中準確測量大氣壓力的應用裝置
-藉由大氣壓力變化測量高度差異(大約每增加1 cm)的應用裝置
-偵測因內部門窗開關所造成之內部壓力輕微變化的應用裝置
新產品同時擁有應用於新領域的潛力。舉例來說，可以將其安裝在日常的電子裝置內，以提供準確的大氣壓力數值。
Epson Toyocom現正利用此產品所使用的原創壓力感測結構，開發其他各種應用裝置的石英式壓力感測器。公司將透過提升以QMEMS為基礎的微型製造(microfabrication)技術、高穩定石英晶體振盪電路技術、及高準確感測技術，致力於增強其感應性能、並縮減外型尺寸。
主要規格
項目 規格
壓力感測範圍 50 kPa ~150 kPa (絕對壓力(*5))
壓力精準度 10 Pa
解析度 0.1 Pa
工作溫度範圍 -20C至+70C
介面 RS-232C
外部尺寸 25*25*H20 mm (不含外部介面)
詞彙
*1QMEMS
QMEMS為「(Quartz)」(石英，一種具高穩定性及高精準度等特性的晶體材料)及「MEMS」(微機電系統)所組成的名詞。QMEMS石英元件以石英製成，而非MEMS所使用的半導體材質。並在石英材料上執行精密的微製程(microfabrication)以便在小型化封裝產品中能提供更高的效能。
QMEMS為Epson Toyocom的註冊商標。
*3帕(pascal，Pa)
壓力的國際標準單位。10 cm的高度變化產生約1 Pa的大氣壓力變化。
*4巴(bar)
壓力單位。1 bar相當於大氣壓於海平面高度施加在地球表面的壓力(1 bar約等於1 kg / cm2)。
*5解析度
可由感測器或類似裝置辨識的量測精密度或細微變化量。
*1絕對壓力
參考絕對真空(absolute vacuum)條件下的壓力量測數值。
【關於Epson】
台灣愛普生科技股份有限公司（Epson Taiwan Technology & Trading Ltd.）為彩色影像技術的領導廠商。長久以來，Epson一直秉持完美影像呈現之先進技術，提供從輸入設備、創意軟體到影像輸出等完整解決方案，包括噴墨/雷射/點矩陣印表機、彩色掃瞄器、彩色液晶單槍投影機、彩色數位相機、彩色液晶多媒體播放器(MP4)及電子零組件等豐富的產品線，是全球數位影像系統的創造者。台灣愛普生成立於1995年，總公司精工愛普生株式會社(SEIKO EPSON CORP.)位於日本長野縣，是一個在全球擁有109家分公司和8萬8千多名員工的企業，並以其對全球環境及所在地方社區的持續貢獻而自豪。SEIKO EPSON 2007會計年度的聯合結算營業額達13,478億日元。台灣愛普生在全球資訊網(World Wide Web，WWW)的首頁站址為: http://www.EPSON.com.tw
過往，壓力感應器大多為了能有精巧的外型而犠牲其性能。因此，需要高效能的應用裝置往往必須採用較大的結構。然而，Epson Toyocom的新型石英式壓力感測器卻能在極小的封裝產品中，同時提供高準確度和高解析度，這都要歸功於英叉式(tuning-fork)石英晶體單元作為壓力感測元件所提供的極穩定振盪頻率，以及QMEMS技術最新開發的原創壓力感測結構。
新型壓力感測器的效能與特色將為裝置設計人員帶來相當大的幫助，可縮減裝置外型尺寸，並大幅提升各種氣象及安全性應用裝置的效能。這些應用將包含：
-在氣象觀察中準確測量大氣壓力的應用裝置
-藉由大氣壓力變化測量高度差異(大約每增加1 cm)的應用裝置
-偵測因內部門窗開關所造成之內部壓力輕微變化的應用裝置
新產品同時擁有應用於新領域的潛力。舉例來說，可以將其安裝在日常的電子裝置內，以提供準確的大氣壓力數值。
Epson Toyocom現正利用此產品所使用的原創壓力感測結構，開發其他各種應用裝置的石英式壓力感測器。公司將透過提升以QMEMS為基礎的微型製造(microfabrication)技術、高穩定石英晶體振盪電路技術、及高準確感測技術，致力於增強其感應性能、並縮減外型尺寸。
主要規格
項目 規格
壓力感測範圍 50 kPa ~150 kPa (絕對壓力(*5))
壓力精準度 10 Pa
解析度 0.1 Pa
工作溫度範圍 -20C至+70C
介面 RS-232C
外部尺寸 25*25*H20 mm (不含外部介面)
詞彙
*1QMEMS
QMEMS為「(Quartz)」(石英，一種具高穩定性及高精準度等特性的晶體材料)及「MEMS」(微機電系統)所組成的名詞。QMEMS石英元件以石英製成，而非MEMS所使用的半導體材質。並在石英材料上執行精密的微製程(microfabrication)以便在小型化封裝產品中能提供更高的效能。
QMEMS為Epson Toyocom的註冊商標。
*3帕(pascal，Pa)
壓力的國際標準單位。10 cm的高度變化產生約1 Pa的大氣壓力變化。
*4巴(bar)
壓力單位。1 bar相當於大氣壓於海平面高度施加在地球表面的壓力(1 bar約等於1 kg / cm2)。
*5解析度
可由感測器或類似裝置辨識的量測精密度或細微變化量。
*1絕對壓力
參考絕對真空(absolute vacuum)條件下的壓力量測數值。
【關於Epson】
台灣愛普生科技股份有限公司（Epson Taiwan Technology & Trading Ltd.）為彩色影像技術的領導廠商。長久以來，Epson一直秉持完美影像呈現之先進技術，提供從輸入設備、創意軟體到影像輸出等完整解決方案，包括噴墨/雷射/點矩陣印表機、彩色掃瞄器、彩色液晶單槍投影機、彩色數位相機、彩色液晶多媒體播放器(MP4)及電子零組件等豐富的產品線，是全球數位影像系統的創造者。台灣愛普生成立於1995年，總公司精工愛普生株式會社(SEIKO EPSON CORP.)位於日本長野縣，是一個在全球擁有109家分公司和8萬8千多名員工的企業，並以其對全球環境及所在地方社區的持續貢獻而自豪。SEIKO EPSON 2007會計年度的聯合結算營業額達13,478億日元。台灣愛普生在全球資訊網(World Wide Web，WWW)的首頁站址為: http://
