Entegris 宣佈推出新型 VaporSorb 化學濾網，適用於半導體製程的高階產量防護
前言：
業界首創的 VaporSorb TRK 化學濾網，新增在黃光製程中脫除弱酸，以涵蓋四種主要空氣分子污染類型
2014年7月9日--Entegris Inc.（NASDAQ-GS：ENTG）是高要求先進製造環境的提升產量材料與解決方案領導廠商，今日宣佈推出空氣分子污染 (AMC) 化學濾網 VaporSorb 系列的擴充產品。VaporSorb 是化學濾網的領導品牌，用於半導體製造關鍵步驟的無塵室環境和製程生產機台。VaporSorb 化學濾網的設計已能以單一過濾器捕捉空氣有機物、鹼和強酸。新型 VaporSorb TRK 已添加特殊材質，使其成為第一個不僅能捕捉前三種核心污染物類別，還能捕捉第四類別的化學濾網，也就是定義為弱酸的類別。
針對光微影塗佈/曝光機追蹤設計的新型化學濾網，首創「四合一」化學濾網解決方案建立在過去的「三合一」技術上，避免了多重化學濾網的處理。此外，本化學濾網能保持 VaporSorb 領先業界的使用壽命，降低生產機台的停機時間和持有成本。
Entegris AMC 過濾服務部資深產品行銷經理 Joe Wildgoose 表示：「現今的黃光製程良率問題可望減輕；解決問題要從處理一個必須處理的污染物類別開始，也就是弱酸。VaporSorb TRK 不僅是能處理三種常見主要問題的單一解決方案，還能處理最新關於弱酸性空氣污染物的問題。」
弱酸的例子包括醋酸和甲酸（醋酸鹽；CH3COO- 和甲酸鹽；HCOO-），以及亞硝酸（亞硝酸鹽；NO2-）。這些污染物會在黃光製程中產生污染和產量的問題，因為不僅傳統 AMC 化學濾網無法除去這些污染物，而且使用傳統設計的過濾器時還可能產生有機污染。
VaporSorb 化學濾網以獨特的混合材料捕捉空氣分子污染物。藉由添加新的吸附劑來加強該混合材質，以產生新型四合一化學濾網。實測上，終端使用者測試已證明該化學濾網能夠捕捉所有會污染晶圓和設備的有機物、鹼、強酸和弱酸。
關於 Entegris
Entegris 是半導體與其他高科技產業的領導供應商，為這些產業在處理與製造中所用的關鍵材料，提供純化、保護和運輸所需的多種產品。Entegris 通過了 ISO 9001 認證，並在美國、中國、法國、德國、以色列、日本、馬來西亞、新加坡、南韓和臺灣設有製造工廠、客戶服務中心或研究基地。更多資訊請參閱 www.entegris.com。
針對光微影塗佈/曝光機追蹤設計的新型化學濾網，首創「四合一」化學濾網解決方案建立在過去的「三合一」技術上，避免了多重化學濾網的處理。此外，本化學濾網能保持 VaporSorb 領先業界的使用壽命，降低生產機台的停機時間和持有成本。
Entegris AMC 過濾服務部資深產品行銷經理 Joe Wildgoose 表示：「現今的黃光製程良率問題可望減輕；解決問題要從處理一個必須處理的污染物類別開始，也就是弱酸。VaporSorb TRK 不僅是能處理三種常見主要問題的單一解決方案，還能處理最新關於弱酸性空氣污染物的問題。」
弱酸的例子包括醋酸和甲酸（醋酸鹽；CH3COO- 和甲酸鹽；HCOO-），以及亞硝酸（亞硝酸鹽；NO2-）。這些污染物會在黃光製程中產生污染和產量的問題，因為不僅傳統 AMC 化學濾網無法除去這些污染物，而且使用傳統設計的過濾器時還可能產生有機污染。
VaporSorb 化學濾網以獨特的混合材料捕捉空氣分子污染物。藉由添加新的吸附劑來加強該混合材質，以產生新型四合一化學濾網。實測上，終端使用者測試已證明該化學濾網能夠捕捉所有會污染晶圓和設備的有機物、鹼、強酸和弱酸。
關於 Entegris
Entegris 是半導體與其他高科技產業的領導供應商，為這些產業在處理與製造中所用的關鍵材料，提供純化、保護和運輸所需的多種產品。Entegris 通過了 ISO 9001 認證，並在美國、中國、法國、德國、以色列、日本、馬來西亞、新加坡、南韓和臺灣設有製造工廠、客戶服務中心或研究基地。更多資訊請參閱 www.entegris.com。
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