2015年1月20日--專為半導體產業客戶提供環保科技解決方案的德國達思公司 (DAS Environmental Expert) 近日推出最新的燃燒/水洗(burn/wet)廢氣處理系統STYRAX。該款為客戶量身打造的系統，旨在處理CVD化學氣相沉積等製程廢氣中所含的危險物質。根據達思廢氣處理事業部總監Guy Davies博士指出：「我們特別針對半導體產業CVD製程等各種常見應用設計出STYRAX。藉由該款工具，我們為客戶提供了最具成本效益的廢氣處理系統，以因應其薄膜製程之各種需求。」
新款系統採用成熟可靠的技術，並特別針對CVD製程要求而調整。此製程以及半導體產業的其他應用，會在氣相化學反應過程中在物體表面形成一層薄膜。晶片製程中的CVD會沉積出各種不同成分的薄膜，包括氮化矽、氧化矽、以及多晶矽，而這類製程中採用的各種氣體則具有毒性、高度可燃、高爆性、或影響氣候等特性。
達思台灣總經理沈森永表示：「STYRAX可更有效率地滿足台灣客戶的需求，同時還能因應CVD與蝕刻製程的廢氣處理作業，使其功能更臻完備。」環保專家達思持續針對嚴苛的CVD製程之廢氣減排要求開發系統功能，目前鎖定的應用範疇更進一步擴展至記憶體製造領域。由於STYRAX機台佔用空間極小，因此能安裝在晶圓廠的地下室或緊靠在設備旁邊。此外，針對要求高正常運作時間的客戶，更可大幅拉長實施預防性維護保養週期。
STYRAX所採用的燃燒/水洗技術多年來在GIANT與UPTIMUM系統中運用得相當成功。由於各種廢氣是從上到下燃燒，而運用水幕噴灑可防止侵蝕及反應室出現微粒堆積現象。在反應室旁的洗滌區，化學反應物與懸浮微粒會在此處被吸附與過濾，之後，經過冷卻的潔淨空氣便可從屋頂排出至大氣中。
STYRAX可正常運作時間極長，減排效率極為優異，維護保養的作業也非常簡單。由於系統保養的間隔週期極長，使客戶可降低各方面營運成本。另外它還能輕易連結到監視網路，針對要求接近100%正常運作時間的應用，達思也特別研發出加強版STYRAXDUO，其內含兩個系統。在必要時 － 例如其中一組系統進行保養維護時， 第二組系統便能立即接手所有廢氣處理作業。
關於達思
達思公司(DAS Environmental Expert GmbH) 為一環保技術供應商，總部位於德國德勒斯登市，自1991年成立至今，已成為製程廢氣處理技術與系統之全球領導供應商之一，諸如整合燃燒水洗式廢氣處理系統、 濕式洗滌廢氣處理系統, 以及粉塵與冷凝分離器。達思廢氣處理方案已獲國際知名半導體、TFT-LCD/OLED 顯示器、電氣及太陽能大廠選用。達思公司亦成立第二事業單位，專責研發工業/城市廢水處理之技術及解決方案。該公司目前於全球擁有超過246名員工，近年營業額不斷攀升，於2013年之營收更超過2800萬歐元。
達思公司(DAS Environmental Expert GmbH) 為一環保技術供應商，總部位於德國德勒斯登市，自1991年成立至今，已成為製程廢氣處理技術與系統之全球領導供應商之一，諸如整合燃燒水洗式廢氣處理系統、 濕式洗滌廢氣處理系統, 以及粉塵與冷凝分離器。達思廢氣處理方案已獲國際知名半導體、TFT-LCD/OLED 顯示器、電氣及太陽能大廠選用。達思公司亦成立第二事業單位，專責研發工業/城市廢水處理之技術及解決方案。該公司目前於全球擁有超過246名員工，近年營業額不斷攀升，於2013年之營收更超過2800萬歐元。
關於台灣達思
達思在台灣的耕耘已邁入第18年，多年來不僅建構了完整的專業服務團隊，提供北中南地區客戶服務， 客戶範圍擴及半導體、光電、LED等產業。台灣達思目前擁有員工超過100人，除新竹辦公室外，並於林口、台中以及台南等地分別擁有團隊駐點，台灣達思積極協助德國總部持續開發STYRAX 、LARCH、SALIX等新產品技術，以符合客戶需求，在台機台安裝量預計於2015年時將超過2,000台。
達思在台灣的耕耘已邁入第18年，多年來不僅建構了完整的專業服務團隊，提供北中南地區客戶服務， 客戶範圍擴及半導體、光電、LED等產業。台灣達思目前擁有員工超過100人，除新竹辦公室外，並於林口、台中以及台南等地分別擁有團隊駐點，台灣達思積極協助德國總部持續開發STYRAX 、LARCH、SALIX等新產品技術，以符合客戶需求，在台機台安裝量預計於2015年時將超過2,000台。
達思於半導體業界擁有超過20年的經驗，並已於全球銷售近5000台的廢氣處理設備，於歐洲、美國和亞洲所服務之客戶超過100家。台灣達思並自2010年起加入「SEMI高科技綠色製程委員會」 ，以共同提升台灣綠色競爭力為宗旨，共同協助台灣高科技產業因應永續發展的挑戰。
更多資訊請參閱 www.das-taiwan.tw, www.das-ee.com
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