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Reno Sub-Systems推出用於半導體等離子應用的業界最高功率微波產生器,擴充其固態射頻系列

本文作者：Reno Sub-Systems 點擊： 2017-07-25 08:06

前言：

Precis™固態發電機為10奈米以下的先進半導體製造業提供所需的精確功率控制

2017年7月18日--業界領先的高性能射頻（RF）匹配網絡，射頻發電機和半導體製造氣體流量管理系統的生產商Reno Sub-Systems 在SEMICON West公佈了其Precis™固態發電機系列的最新產品。新的Precis固態發電機能夠以2.45GHz輸出1.6kW功率的微波，這是致力於半導體等離子應用的最高功率固態微波產生器。該公司的發電機滿足了半導體業對先進子系統技術日益增長的需求，以協助行業保持摩爾定律的步伐。

“幾十年來，子系統首次實現了新的製程和未來的元件世代。 ” Reno Sub-Systems 的首席執行官Bob MacKnight表示，“我們技術得到業界廣泛認可，80％的頂級半導體元件製造商和設備製造商已經訂購了Reno的產品。”

Precis微波發電機使用高度可靠的固態架構以提供精確，可重複和穩定的微秒斜坡時間。與相對應的磁控管技術的微波發電機相比，Precis的微波功率控制可以提供顯著提升的頻率控制。消除老化的磁控管技術也降低了維護要求，從而降低了所有權成本。

Precis系列發電機是Reno 公司卓越的Velocity™系列EVC™匹配網絡產品組合的最新產品。 Velocity EVC匹配網絡具有超群的性能和處理能力，實現範圍從500W至4.5kW，頻率為500kHZ至40MHz。

Precis 微波發電機規格:
• 頻率 2.45GHz 的 1.6kW 微波輸出
• 運行採用200/208, 三相, 50/60Hz 交流電
• 同軸和波導輸出選項
• 串行和模擬通信
• 提供DeviceNet和EtherCAT通訊選項
• 19英寸機架安裝設計，易於集成

下載編輯專用的高分辨率圖像
Precis微波發電機圖像可以從這裡下載: https://impresspr.egnyte.com/dl/dv48xP4cad/Reno_Precis-Generator_7x5_300dpi.png_

關於 Reno Sub-Systems
Reno Sub-Systems公司為半導體和先進的微電子行業開發創新的產品。採用其專利技術，Reno 已經向領先的奈米級製造業展示了卓越的射頻（RF）匹配網絡，射頻發電機和氣體輸送系統。Reno 公司的產品因為其晶圓性能的優異數據而吸引了大量客戶訂單，眾多產品在最大的元件製造商和設備製造商中已經獲得或者即將獲得資格認證。如需了解更多信息，請訪問 http://www.renosubsystems.com。

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