圖:新的高頻率加速度計的雜訊頻譜密度圖表。
本文將會回顧展現MEMS 技術開發與性能位準狀態的資料，並將其與商業用的壓電狀態監測加速度計進行比較。
在MEMS 製程技術方面的投資以及設計方面的創新，已經大幅的改善了MEMS 的性能，使其足以成為更廣範圍之狀態監測應用裝置的可行選項。具有高達50 kHz 諧振頻率以及低至25μg √ Hz 之雜訊密度的加速度計，目前藉由特殊的MEMS 結構與製程技術已經能夠加以實現。在信號調節電子上的精心設計將可以完全的利用到這些新加速度計的低布朗動作雜訊。
