照片人物: 左二為ATMI資深副總裁暨微電子部總經理Christian F.Kramer,左三為ATMI客戶技術部副總裁Montray Leavy,左一右一分別是台灣ATMI大客戶處長王立坤與林仕萍
對於半導體製造來說,高生產率及低成本已不再是唯一準則,效率與綠色製造同樣重要。“綠色產品”和“綠色製程技術”將成企業的新競爭優勢。在綠色製造概念的引領下,全球領導半導體、面板和LED廠商都不約而同指出,應該從製造源頭就導入綠色設計概念(Design for Green Manufacturing)。排碳減量和節能的多寡則要回歸製程設計,從源頭改良。多年以來,ATMI一直致力於為客戶提供一個兼具效率和環保的解決方案,因此,ATMI將“環保”與“永續經營”納入新產品研發設計時的基本原則。
BrightPak先進包裝增加光阻充填容量且防碎
秉承綠色製造的理念,ATMI在產品及研發層面持續不斷的創新,推出了針對關鍵液態材料的新一代解決方案:BrightPak先進包裝及輸送技術。
BrightPak將導入做為先進黃光光阻之包裝及輸送應用,相較於傳統輸送系統及玻璃容器, BrightPak之導入在光阻塗布(coating)系統的整合效率,使用成本及安全性提升都帶來顯著的效益。新系統提供了更安全、潔淨,具成本效益和高效率的優勢。
從光阻充填到運輸儲存與輸送,BrightPak雙重密封的設計和材料結構強化了化學品在輸送過程中易出現洩漏與破瓶的保護機制,同時降低意外和人為操作不慎的風險。與玻璃瓶相比,BrightPak容器是由防碎材料製成,即使掉落地面也不易破裂,其符合人體工學的瓶身與把手的設計, 在操作上更方便與安全。此外,BrightPak輸送系統亦符合於傳統真空幫浦抽取/直接加壓或新世代/間接加壓輸送等需求,為客戶提供更靈活的選擇。當間接加壓傳輸光阻時,加壓氣體是在可壓縮內袋和外瓶之間作用,而不會接觸到光阻材料,減少加壓氣體直接溶入化學品風險,以避免微氣泡及其他缺陷的發生。
BrightPak輸送系統也具有提高成本效益的特性,其填充的化學品輸送利用率高達99.9%,大大降低光阻殘留的浪費。整體而言,BrightPak所增加21%的容量,不但減少倉儲空間,其重量輕的特質,亦可降低運輸成本。再者, BrightPak外瓶是可回收的,其內袋也可焚化處理,比需要固化掩埋處理的玻璃瓶足足減少超過60%的碳排放量,堪稱是現今市場上針對先進包裝及輸送技術的最佳解決方案。
BrightPak輸送系統應用範圍相當寬廣,主要在半導體、平面顯示器和LED市場的光阻包裝,但其優異的特性也可應用在包括生醫製藥,太陽能電池的製造和粘合劑的包裝輸送等其他領域。
跨足電子廢棄物回收 ATMI開發出eVOLV綠色工程技術
隨著個人電腦、平板電腦和其他移動電子產品在全球範圍內的廣泛使用,它們使用壽命終期後的回收管理成為巨大挑戰,由此產生的電子廢棄物(電子垃圾)已經成為一個全球性的嚴峻問題,且正在日益惡化。據報導,2009年全球範圍內的電子廢棄物數量為5,000萬噸,預計到2014年,此一數據將增至超過7,200萬噸。
電子垃圾帶來很多安全和環境危害,特別是因為大部分電子廢棄物被運送傾倒至貧困、欠發達地區,在這些地方,電子廢棄物被手工拆卸或在當地採用各種危險的回收技術進行處理,如直接開放式焚燒或者採用有毒化學物質提煉貴金屬。更嚴重的是,越來越多的電子廢棄物堆放地的有毒化學物質滲入地下水,帶來了更大的生態災害。與此同時,貴金屬如銀、金、鈀、銅及其他用於電子產品製造的金屬變得越來越昂貴和難以獲取。因此,對這些金屬的需求持續增漲,金屬的價格持續上升。尋找一種有效的回收利用這些資源的方法不僅可以消除有害的傾倒行為,削減開採新金屬的成本,也是通向可持續發展方向的必由之路。
為開始應對大量和日益增加的電子廢棄物的挑戰,以及開始採用更清潔、更安全的方式從電子廢棄物元器件中回收金屬,ATMI公司開發了名為eVOLVTM的新型技術,它是基於環保化學和綠色工程的方法,可以從廢舊電路板或印刷線路板(PWBs)中回收有價值材料的一種安全、快捷和有效的方式。
eVOLV技術包含了廢棄物管理的“4R”概念——減少(Reduce)、再利用(Reuse)、再循環(Recycle)以及回收(Recover)。然而,至少從電子廢棄物中元器件這一方面,該項技術之所以被開發出來,更多的原因是聚焦於第五個R——反思(Rethink)。
不同於大多數現有的、通常對人和/或環境有害的處理電子廢棄物的技術,eVOLV技術採取安全、可持續的方法設計了製作流程,其設計概念貫徹了環保化學和綠色工程的理念。
eVOLV系統是首款做到符合成本效益、具備可持續使用、全化學過程對廢棄印刷電路板進行回收利用的技術。這項技術免除了傳統的、有毒害的貴金屬提取方法中氰化物或王水的使用,金屬回收利用率高達99%,且回收金屬純度達99%(黃金純度可達99.9%)。無毒的化學藥劑可實現回收利用,不會產生有毒的副產品或有害空氣、水及固體廢棄物排放。
因為所需的化學藥劑用量很低,所有的回收製造步驟極為高效。其回收製造過程中採用低能耗和接近室溫的操作溫度,由此也保持了較低的碳足跡。過程中使用的化學藥劑具有較高的承載能力,這意味著較少的更換次數,由此可以優化降低成本。這種成本節約的概念可以擴展,如係統選址可靠近電子廢棄物來源的地方。最終,所有的產生的廢棄物都可以轉換成為其他製程的原料。
隨著電子產品消費需求的增長,電子廢棄物的數量也將持續增長。依靠eVOLV系統,通過回收印刷電路板實現高效和可持續回收貴金屬如金、銀、銅和鈀等。
ATMI在台灣
台灣作為全球半導體產業的重鎮,在ATMI的全球業務中的重要性正日益增強。ATMI在台灣的業務已經超過10年,並在6年前就已有本地的lab,且進行了設備和相關設施的投資。接近客戶,瞭解客戶需求,為客戶提供及時高效的服務是ATMI一貫的理念。2011年底,ATMI宣布取回其專有的安全封裝運輸系統 (SDS, Safe Delivery System)的經銷權,這代表著SDS將由ATMI直接製造,銷售及提供服務。SDS是一種低壓鋼瓶,尤其適用於As、B等有毒氣體,當前的市場佔有率超過90%。這項行動證明了ATMI實現提供更好服務於客戶的承諾。隨著半導體產業逐漸向亞洲遷移,ATMI有70%的業務在亞洲,ATMI目標是在未來把更多的產品實現臺灣本地化生產,在硬體和人才方面還會持續的投資。隨著技術節點的進一步縮小,ATMI將更緊密的與台灣本地客戶合作,瞭解客戶新的製程需求,致力於成為客戶的第一個選擇,為客戶提供優異的客製化服務。
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