Heateflex總裁暨執行長Jorge Ramirez
成立已逾40年的Heateflex,提供製造用的高純度工業應用的精密流體、氣體加熱器和熱交換器。Heateflex大多數的產品皆設計成制程設備,例如濕式設備,但它們也可用於晶圓廠生產線中來加熱(及冷卻)各種化學品。Heateflex主要的優勢在於技術與產品的品質,以及具備半導體製造市場中產品需求的相關知識。Heateflex是半導體設備市場中首屈一指的加熱技術專家,也是專精于高純度加熱應用的少數公司之一。目前,臺灣地區由巨集屹企業(Homwell)代理。
Heateflex在加熱產品上使用專利技術以非常快速且均勻地加熱各種類型的化學品,並改造此一技術以符合小尺寸的需求。對許多半導體製造應用方案而言空間是相當珍貴的,因此這項專利技術使Heateflex加熱器成為不二之選,而它還可迅速的加熱或冷卻化學品,而導致更多的產出。
現在,半導體製程的發展速度遠比業界先前的預期要快,繼14奈米在一些領域開始量產之後,10奈米設計也在進行,更高級的7奈米甚至5奈米實驗性投片也已展開,因此客戶迫切需要配套設備儘快就位。
Heateflex總裁暨執行長Jorge Ramirez表示,對於14 奈米制程以降,客戶所面臨的最大挑戰之一是如何維持制程純度(例如:低微粒污染),達到污染較輕微的程度,以及維持高度的系統可靠度(因為許多制程目前皆已自動化)。2015年9月,Heateflex在SEMICON Taiwan中介紹的新型Heateflex管線用加熱器及加熱器/混頻器,主要為了超輕巧設計中的高可靠度與制程純度等同時出現的需求而設計。這些最新加熱器的特色為內部密封,提升了可靠度。加熱容器上的頂焊管帽可取代O形環,防止可能的微粒污染。Heateflex推出的最新加熱器,可應用於小至8 奈米技術節點。
Heateflex管線用加熱器及加熱器/混頻器
Jorge Ramirez 認為,儘管2015年下半年,臺灣與中國的半導體產業經濟預測並不樂觀。但Heateflex對長期半導體業的全球需求仍持續樂觀。半導體與半導體設備產業已經更為鞏固,但市場需求有時仍會有區域上的波動。不過,產業的週期性較20年前相比已更為趨緩。新產品應用的需求,包括可穿戴裝置和萬物聯網在內,將持續推動全球晶片產品的需求上升。
附:Heateflex產品用於各種半導體製造應用上,包括:
1) 加熱用於洗淨晶圓的去離子水(DI water)
2) 加熱諸如SC1和SC2等用於晶圓清洗的化學品
3) 加熱用於半導體電鍍的蝕刻化學浴技術
4) 加熱諸如N2和CDA等用於乾燥的氣體
5) 加熱諸如IPA和NMP等溶劑
6) 加熱廠務去離子水迴圈回路和熱交換器